纳米压印光刻技术平台项目

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基本信息省级项目编号****************项目分类其它建设单位 南方科技大学 组织机构代码 ********* 项目所在地**省******详细地址学苑大道****号南方科技大学立项文号****-******-**-**-******立项级别地*级立项批复机关***发展和改革委员会立项批复时间****-**-** **:**:**总投资（万元）****总面积/长度（平方米/米）*建设规模 建设大面积高精度纳米压印图形化加工平台，构建基于喷墨打印技术的纳米压印核心部件及设备原型；打造高精度模板制备及关键胶体研发平台，构建亚**纳米图案化模板制备能力，攻克高精度电子束曝光胶、紫外固化纳米压印胶体核心材料。项目的实施将为实验室攻关国际最先进的、面向*nm制程节点的纳米压印光刻技术（设备-材料-工艺的全栈技术）提供技术攻关和验证平台。 建设性质工程用途计划开工日期数据等级 B 资金来源项目环节工程招投标 无 合同信息 无 施工图审查 无 施工许可 无 工程竣工验收备案 无 业绩技术指标 无 参建单位暂无信息关键岗位人员暂无信息项目诚信暂无信息
基本信息省级项目编号****************项目分类其它建设单位 南方科技大学 组织机构代码 ********* 项目所在地**省******详细地址学苑大道****号南方科技大学立项文号****-******-**-**-******立项级别地*级立项批复机关***发展和改革委员会立项批复时间****-**-** **:**:**总投资（万元）****总面积/长度（平方米/米）*建设规模 建设大面积高精度纳米压印图形化加工平台，构建基于喷墨打印技术的纳米压印核心部件及设备原型；打造高精度模板制备及关键胶体研发平台，构建亚**纳米图案化模板制备能力，攻克高精度电子束曝光胶、紫外固化纳米压印胶体核心材料。项目的实施将为实验室攻关国际最先进的、面向*nm制程节点的纳米压印光刻技术（设备-材料-工艺的全栈技术）提供技术攻关和验证平台。 建设性质工程用途计划开工日期数据等级 B 资金来源项目环节工程招投标 无 合同信息 无 施工图审查 无 施工许可 无 工程竣工验收备案 无 业绩技术指标 无 参建单位暂无信息关键岗位人员暂无信息项目诚信暂无信息