废气处理设施改建项目

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建设项目环境影响登记表 项目名称 废气处理设施改建项目 建设地点 江苏省无锡市江阴市江阴市长山大道78号 占地面积 （平方米） 26977.8 建设单位 江苏新顺微电子股份有限公司 法定代表人 杨国江 联系人 张磊 项目投资(万元) 5 环保投资(万元) 5 拟投入生产运营日期 2023-04-03 建设性质 改建 备案依据 该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第100 脱硫、脱硝、除尘、VOCs治理等大气污染治理工程项中全部。 建设内容及规模 本单位拟进行废气处理设施的调整，具体调整如下：CVD工艺使用TEOS、TMB、TMP气体的三台工艺设备产生废气原为经一级活性炭 三级碱喷淋装置（3＃塔）处理后经由25米排气筒DA001排放，现为提高有机废气的处理效率，CVD工艺使用TEOS、TMB、TMP气体的三台工艺设备产生的有机废气经现有的干式过滤 活性炭吸附浓缩 催化燃烧装置（4＃塔）处理后经由25米排气筒DA004排放，由于三台设备所需风量均较少，因此调整前后3＃塔、4＃塔风量保持不变，项目建成后，3＃塔不再产生废活性炭，4＃塔活性炭产生量不变。 主要环境影响 采取的环保措施及排放去向 有环保措施: CVD工艺有机废气采取干式过滤 活性炭吸附浓缩 催化燃烧装置措施后通过25米排气筒DA004排放至大气环境   承诺：江苏新顺微电子股份有限公司 杨国江承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由 江苏新顺微电子股份有限公司， 杨国江 承担全部责任。 备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：202332028100000188。