《xxMOEMS研制保障条件建设项目环境影响报告表》审批前公示

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根据建设项目环境影响评价审批的有关规定，经审查，我局拟对《华**电集成器件研究所xxMOEMS研制保障条件建设项目环境影响报告表》作出审批意见。为保证审批的严肃性、公正性及公众知情权，现将该项目环评文件基本情况予以公示。公示期为五个工作日，即****年*月**日至****年*月*日。如有意见，请于公示期内将书面意见反馈至***经济开发区生态环境分局。 联系电话：****－*******（传真） 地址：***大学科技园城*之门西楼***室（**经济开发区管委会） 项目名称 xxMOEMS研制保障条件建设项目 建设地点 **省***龙子湖区汤和路****号 建设单位 华**电集成器件研究所 环境影响评价机构 **北方节能环保有限公司 项目概况 项目位于**省***龙子湖区汤和路****号，用地面积****平方米，总投资*****万元，为改建项目。项目依托现有《北方电子研究院**有限公司核心器件产业基地项目》中MEMS器件生产线的生产设备，利用现有***、***号厂房预留区，通过新增生产设备，形成健全的MOEMS器件研制能力和小批量生产能力。改建前的年产*亿只MEMS器件产能将减少*亿只，改建后新增*种MOEMS微镜各****只、MOEMS滤光模块****只小批量生产能力。 主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施 *、废气 项目废气主要有酸碱废气、有机废气、有毒废气、锅炉废气。项目蚀刻、清洗过程使用硫酸、盐酸、氨水等产生的酸碱废气经各产生工序分别收集后，分别经碱液/酸液喷淋吸收处理后，由排气筒DA***排放；项目清洗工序使用乙醇、丙酮等挥发产生有机废气和光刻、腐蚀、刻蚀等工序使用光刻胶挥发产生的有机废气，经各工序收集后通过“二级活性炭”吸附处理后，由排气筒DA***排放；项目金属沉积和刻蚀等工序产生有毒废气（主要为氟化物），经生产设备自带的POU净化装置处理后，再经碱液喷淋吸收塔作一步处理后，由排气筒DA***排放。项目产生的氟化物、氯化氢、硫酸雾、VOCs有组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB*****-****）表*中二级标准，氟化物、氯化氢、硫酸雾无组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB*****-****）表*中无组织排放监控浓度限值要求；氨有组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB*****-**）表*中排放限值的要求，氨无组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB *****-****）表*中二级新扩改建标准要求；锅炉废气颗粒物、SO*执行《锅炉大气污染物排放标准》（GB*****-****）中表*大气污染物特别排放限值要求，NOx执行《**省****年大气污染防治重点工作任务》（皖大气办[****]*号文）相关要求；VOCs无组织排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB*****—****）表A.*无组织排放限值要求。 *、废水 项目废水主要为酸碱废水、含氟含磷废水、有机废水、废气洗涤塔废水、纯水系统浓废水，循环冷却排水和生活污水。酸碱废水调节后进入中和处理系统处理；含氟含磷废水经含氟含磷废水处理系统处理后，再进入中和处理系统处理；有机废水桶装收集后，排入中和处理系统处理；废气洗涤塔废水汇入含氟含磷废水处理系统一并处理；纯水系统浓废水、循环冷却水废水直接排入厂区污水管网，经污水总排口进入*政管网；生活污水经化粪池处理后排入*政管网。项目废水排放取严执行***第二污水处理厂接管标准及《半导体行业水污染物排放标准》（DB**/****-****）表*中水污染物间接排放限值。 *、固废 项目固废主要为废金粉末、废钛粉末、污水处理站污泥、生活垃圾等。废金粉末、废钛粉末收集后由厂家回收使用；污水处理站污泥、生活垃圾经统一收集后交由环卫部门处理。光刻胶废液、废刻蚀废液、废显影液、废酸、废乙醇丙酮混合液、废异丙醇、废活性炭等危险废物，分类收集后存放在相应的专用储罐或专用容器中，与废活性炭暂存于危废暂存间内，定期交由有资质单位处置。项目一般固体废弃物执行《**省实施<中华人民**国固体废物污染环境防治法>办法》相关要求，危险废物执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB*****-****）要求。 *、噪声 项目噪声主要为各种生产设备、生产车间的通风设备、污水处理站的鼓风机和各类泵等产生的噪声。通过对生产设备采取减振、降噪、柔性连接等措施，车间配套安装隔声门窗减少对周边环境的影响。项目厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB*****-****）中的*类标准、*类标准。 公众参与情况 我局受理该项目环评文件后，在***生态环境局网站进行了环境影响报告表全本公示，公示期间未收到反馈信息。 听证权利告知 依据《中华人民**国行政许可法》第四十七条的规定，自公示起五个工作日内申请人、利害关系人可对该项目拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证，逾期不提交听证申请的，视为放弃听证权利。或者依据《中华人民**国行政许可法》第三十六条的规定到本机关进行陈述、申辩。逾期不到的，视为放弃陈述、申辩权。 相关部门意见 **经济开发区经贸发展局项目备案表（项目代码****-******-**-**-******）