盛合晶微超高密度互联三维多芯片集成封装建设项目环境影响报告

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建设项目环境影响报告表 项目名称：超**度互联三维多芯片集成封装 年新增*万把硬质合金刀具精密加工耐磨镀层智能化技术改造项目 年新增*万把硬质合金刀具精密加工耐磨镀层智能化技术改造项目 年新增*万把硬质合金刀具精密加工耐磨镀层智能化技术改造项目 建设单位（盖章）：盛合晶微半导体（**）有限公司 编制日期：****年*月 中华人民**国生态环境部制 一、建设项目基本情况 建设项目名称 超**度互联三维多芯片集成封装 项目代码 ****-******-**-**-****** 建设单位联系人 陈** 联系方式 *********** 建设地点 **省******高新区**** 地理坐标 （ *** 度 ** 分 *.**秒， ** 度 ** 分 **.**秒） 国民经济 行业类别 集成电路制造（C****） 建设项目 行业类别 三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 **电子器件制造 建设性质 □**（迁建） □改建 R扩建 □技术改造 建设项目 申报情形 R首次申报项目 £不予批准后再次申报项目 £超五年重新审核项目 £重大变动重新报批项目 项目审批（核准/ 备案）部门（选填） **高新技术产业开发区管理委员会 项目审批（核准/ 备案）文号（选填） 澄高行审备〔****〕***号 总投资（万元） ****** 环保投资（万元） **** 环保投资占比（%） *.** 施工工期 **个月 是否开工建设 ☑否 □是： 用地（用海） 面积（m*） / 专项评价设置情况 表*-*专项评价设置原则表 专项评价的类别设置原则本项目情况设置情况大气排放废气含有毒有害污染物、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯气且厂界外***米范围内有环境空气保护目标的建设项目本项目排放的废气不含废气甲醛、二噁英、苯并[a]芘、氯气，但涉及氰化物排放且厂界外***米范围内有环境空气保护目标。设置地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂本项目生产区生产废水和生活污水经预处理后接管至**高新区污水处理厂集中处理，尾水经大寨河汇入东横河。生活区生活污水经化粪池预处理后接管至***清泉水处理有限公司集中处理，尾水排入东横河，无直排废水。不设置环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量的建设项目本项目硫酸、异丙醇、丙酮、镍及其化合物、废有机溶液等有毒有害和易燃易爆危险物质存储总量Q＞*设置生态取水口下游***米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目本项目不涉及不设置海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目本项目不涉及不设置 注：*、废气中有毒有害污染物指纳入《有毒有害大气污染物名录》的污染物（不包括无排放标准的污染物）。 环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。 *、临界量及其计算方法可参考《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ***）附录B、附录C。 规划情况 / 规划环境影响 评价情况 / 规划及规划环境影响评价符合性分析 本项目位于***东盛西路*号，属于集成电路园区，从事集成电路制造，与园区产业规划一致，与园区规划地理位置相符。 其他符合性分析 *、“三线一单”相符性说明 本项目满足区域三线一单要求。 *、产业政策相符性 本项目进行集成电路的制造，符合国家和地方的产业政策。 *、相关生态环境保护法律法规政策相符性分析 表*-* 本项目与国家及地方政策相符性分析一览表 本项目进行集成电路的制造，符合国家和地方的相关生态环境保护法律法规政策，满足《关于印发<**省地表水氟化物污染治理工作方案（****—****年）>的通知》（苏污防攻坚指办〔****〕*号）的相关要求。满足《集成电路制造建设项目环境影响评价文件审批原则》的相关要求。 二、建设项目工程分析 建设内容 *、项目概况 盛合晶微半导体（**）有限公司拟利用现有厂房和公辅设施，同时在现有厂区内**研发车间、研发生产厂房、停车楼等建筑物，引进键合机、贴片机等进口设备共***台（套），购置化学气相沉积设备、刻蚀后清洗设备等国产设备共***台（套），建设超**度互联三维多芯片集成封装生产线。项目建设完成后，将新增月产****片（**英寸）超**度互联三维多芯片集成封装产品的生产能力。 根据《中华人民**国环境保护法》和《中华人民**国环境影响评价法》中的有关规定，项目需开展环境影响评价工作。根据《建设项目环境影响评价分类管理名录》（****年版），本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业”中“** 电子器件制造 ***”中“显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的”，应编制环境影响报告表。 *、工程内容及规模 本项目利用东盛西路*号厂区已批待建生产厂房及公用辅助设施，同时**研发生产厂房、研发车间、停车楼等构筑物，因此主体工程主要包括研发生产厂房、研发车间、停车楼等的建设、厂房内部布局的调整、生产设备购买、安装和调试等环节，公用、辅助工程和环保工程配套设施完善等。建设项目主体工程及产品方案见表*-*。 表*-*建设项目主体工程及产品方案 工程名称（车间、生产装置或生产线）产品名称规格设计能力（万片/年）年运行时数（hr）扩建前扩建后增减量金属Bump及晶圆级芯片封装产品生产线金属Bump及晶圆级芯片封装产品*英寸、**英寸****** ******D PKG产品生产线*D PKG产品*英寸、**英寸**.***.* *****Fan out封装产品生产线Fan out封装产品**英寸*.**.* *****硅转接板产品生产线硅转接板产品**英寸*.**.* *****CP测试生产线CP测试/***********超**度互联三维多芯片集成封装生产线超**度互联三维多芯片集成封装产品**英寸**.* +*.* **** 注：①测试生产线拟测试本单位自行生产的产品***.*万片/年，外来产品**.*万片/年，后续建设单位生产计划更新后，测试数量按环境影响报告进行调整。 ②本项目产品与现有项目产品无上下游关系，生产车间相互独立，不依托现有项目生产设备和废气处理设施，仅依托部分废水处理设施及贮运等公辅设施。 公用及辅助工程情况，具体见表*-*。 表*-*（*）公用及辅助工程 *、原辅材料及理化性质 本项目原辅材料见表*-*，原辅材料理化性质见表*-*。 表*-*（*）全厂原辅材料表使用情况 表*-*（*）本项目主要原辅材料表 注：表格中*N指物料纯度为**.***%，*N*指物料纯度为**.***%，*N指物料纯度为**.**%。 表*-*本项目原辅材料理化性质 *、主要设备 本项目主要设备配置情况见表*-*。 表*-*本项目生产设备汇总表 *、建设项目厂区平面布置情况 本项目位于***东盛西路*号，具体地理位置见附图*。 厂区按功能分区分为五大区：生活区、厂前区、生产区、**辅助区和仓储区。厂区西侧为生活区，主要为员工宿舍和活动中心；厂区北侧为厂前区，主要为停车场和绿化；厂区中心为生产区，由西向东为办公楼、FAB*车间、FAB*车间、FAB*车间；FAB*车间*层、FAB*车间*层均用于生产；FAB*车间*层，为本项目生产车间；厂区南侧为**辅助区和仓储区，厂区平面布置具体见附图*。 本项目建设地厂界北侧隔东盛西路为***领军人才创智园，南侧为**长电科技股份有限公司，西侧隔蟠**路为***扬子管件有限公司和***方钢结构制造有限公司，东侧隔长山大道为长电微电子(**)有限公司。具体厂界周围***米土地利用现状见附图*。 *、劳动定员及工作制度 劳动定员：扩建前全厂职工为****人，其中住宿员工****人。本项目新增职工****人，其中住宿员工****人。扩建后全厂职工****人，其中住宿员工****人，宿舍为倒班宿舍。 工作制度：本项目工作制度生产车间实行四班二转制，年有效工作日为***天。 *、本项目物料平衡 本项目物料平衡如下： 图*-* 超**度互联三维多芯片集成封装产品物料平衡图（单位：t/a） 图*-* 超**度互联三维多芯片集成封装产品电镀部分物料平衡图（单位：t/a） 表*-* 超**度互联三维多芯片集成封装物料平衡表（t/a） *、本项目元素平衡 *、本项目涉VOCs物料平衡 根据项目大气专项，本项目有机废气产排情况如下： *、水平衡 建设内容 图*-**本项目水量平衡图（单位：t/a） 建设内容 图*-**本项目建设后全厂水量平衡图（单位：t/a） 工艺流程和产排污环节 *、生产工艺 本项目进行超**度互联三维多芯片集成封装产品的生产，主要工艺为清洗、刻蚀、显影、电镀等。 图*-**超**度互联三维多芯片集成封装产品工艺流程图 表*-**超**度互联三维多芯片集成封装产品制作工艺说明 *、其他产污环节分析 建设项目生产中会产生相应类别的污染物，公辅设施也会产生相应污染物。具体产生环节及污染物种类如下： 根据上述分析，本项目在营运期阶段产污环节具体见表*-**。 表*-**本项目产污环节表 与项目有关的原有环境污染问题 一、现有项目环保手续情况 表*-**现有项目建设、审批及验收情况 厂区项目名称产品方案环评文件类型环评批复“三同时”竣工验收备注长山大道**号厂区线宽*.**微米及以下大规模数字集成电路制造，*.*微米及以下模拟、数模集成电路制造，MEMS和化合物半导体集成电路制造及BGA、PGA、CSP、MCM等先进封装与测试项目**英寸晶圆级凸块封装芯片**万片/年（其中**英寸直接凸块**万片/年，**英寸聚酰亚胺凸块**万片/年），CP测试**万片/年环境影响报告书***环保局，***************，****年*月*日****年*月**日通过“三同时”环保竣工自主验收已建，该项目产品拟于二期改建项目建成后淘汰，即****年底淘汰东盛西路*号厂区线宽**纳米及以下大规模数字集成电路制造，*.**微米及以下模拟、数模集成电路制造，MEMS和化合物半导体集成电路制造及BGA、PGA、CSP、MCM等先进封装与测试项目金属Bump产品（直接凸块）***万片/年，SuBulessTM晶圆片级芯片封装**万片/年，TSV产品**万片/年，CIS产品**万片/年，CP测试***万片/年环境影响报告书***环保局，澄环发[****]**号，****年**月*日一阶段于****年*月**日通过“三同时”环保竣工自主验收一阶段已建，二阶段未建且不再建设。一期项目产品拟于拟于二期改建项目建成后淘汰，即****年底淘汰危废综合利用环保提升项目废蚀刻液、废电镀液处理环境影响报告表**高新技术产业开发区管理委员会，澄高行审环（****）**号，****年**月*日****年*月通过“三同时”环保竣工自主验收已建，拟于二期改建项目建成后改为备用*.*D硅转接板及硅通孔(TSV)技术研发和产线建设、超大尺寸Fan-out先进封装技术研发及产线建设、三维多芯片集成封装项目该项目建成后企业两个厂区原有产品均不再生产，全厂产能为：金属Bump及晶圆级芯片封装产品***万片/年、*D PKG产品**.*万片/年、Fan out封装产品*.*万片/年、硅转接板产品*.*万片/年和CP测试***万片/年环境影响报告表**高新技术产业开发区管理委员会，澄高行审环〔****〕**号，****年*月*日/待建，拟于****年底建成 现有项目排污许可证类别为重点管理，排污许可证重新申请已与****年*月**日通过，证书编号：*****************D***V，有效日期：****-**-**至****-**-**，并在全国排污许可证管理信息平台填报了****年年度排污许可执行报告、****年度*-*季度排污许可执行报告。 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 区域 环境 质量 现状 *、环境空气 根据《***生态环境状况公报（****年度）》，****年，全*PM*.*年平均浓度**微克/立方米，同比下降*.*%；优良天数***天，优良天数比率为**.*%，同比持平。全*空气SO*年平均浓度为*微克/立方米，同比下降**.*%；NO*年平均浓度为**微克/立方米，同比下降**.*%；PM**年平均浓度为**微克/立方米，同比下降**.*%；CO年平均浓度*.*毫克/立方米，同比下降*.*%；O*年平均浓度***微克/立方米，同比上升*.*%。因此，本项目所在区域为不达标区。 根据《***生态环境状况公报（****年度）》，*******年空气质量状况见表*-*。 表*-****空气质量现状评价表 污染物年评价指标现状浓度（μg/m*）评价标准（μg/m*）占标率%达标情况SO*年平均质量浓度*****.*达标NO*年平均质量浓度******达标PM**年平均质量浓度******.*达标PM*.*年平均质量浓度******.*达标O*年平均质量浓度*********.*不达标CO年平均质量浓度**********.*达标 监测结果显示，建设项目所在区域*******年环境空气中SO*年均浓度、NO*年均浓度、CO 年均浓度、PM**年均浓度、PM*.*年均浓度均能达到《环境空气质量标准》（GB****-****）表*中二级标准要求；O*年平均质量浓度超过《环境空气质量标准》（GB****-****）表*中二级标准要求，目前，已经出具高新区大气整治方案和《***大气环境质量限期达标规划（正式稿）》。 *、地表水 根据《***生态环境状况公报（****年度）》，****年，全***条主要河流共设置地表水重点监测断面**个，其中Ⅱ类水质断面**个，Ⅲ类水质断面**个，Ⅳ类水质断面*个，无Ⅴ类和劣Ⅴ类水质断面。与****年相比，总体水质变好，Ⅱ—Ⅲ类断面比例上升*.*个百分点。 *、环境噪声 厂界**m范围内无声环境保护目标。根据《***生态环境状况公报（****年度）》，****年，全*昼间和夜间声环境质量基本保持稳定，声环境质量总体较好。****年*****功能区噪声达标率为**.*%，较****年上升*.*个百分点。昼间环境噪声监测达标率为**.*%，较****年上升*.*个百分点；夜间环境噪声监测达标率为**.*%，较****年上升**.*个百分点。项目所在地声环境质量较好。 环境 保护 目标 （*）大气环境： 表*-**大气环境保护目标 环境保护对象名称坐标保护对象保护内容环境功能区相对厂址方位相对本项目厂界距离/mX（°）Y（°）心经村***.********.******居民区约**人GB****二类区东***敔山湾花园***.********.******居民区约****人东南*****省南菁高级中学***.********.******学校约****人南*** 本项目厂界外***米范围内无大气监测子站 （*）声环境：本项目厂界外**m范围内无声环境保护目标。 （*）地下水环境：本项目***m范围内无集中式饮用水源准保护区及准保护区以外的补给径流区、除集中式饮用水源以外的国家或地方政府设定的与地下水环境相关的其他保护区、未划定准保护区的集中式饮用水水源其保护区以外的补给径流区、分散式饮用水水源地、特殊地下水**保护区以外的分布区等地下水保护目标。 （*）生态环境：本项目不属于产业园区外新增用地的，不涉及生态环境保护目标。 污染 物排 放控 制标 准 *、废气 本项目施工扬尘执行《施工场地扬尘排放标准》（DB**/****-****）表*单位边界大气污染物排放监控浓度限值。生产过程中产生的废气执行**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*、表*标准，磷酸雾、碱雾执行***地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB**/***-****）中表*标准。本项目RTO装置天然气燃烧废气执行**省地方标准《工业炉窑大气污染物排放标准》（DB**/****-****）表*标准。具体见表*-**。 表*-**大气污染物排放标准 污染物排气筒高度（m）最高允许排放浓度（mg/m*）最高允许排放速率（kg/h）企业边界（厂界）大气污染物浓度限值（mg/m*）标准来源硫酸雾***.*/*.***省地方标准《半导体行业污染物排放标准》DB**/****-****氯化氢****/*.*氨****/*.*氰化氢***.*/*.***异丙醇****//非甲烷总烃****/*.*TVOC*****//颗粒物****//氟化物***.*//有组织**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》DB**/****-****，无组织**省地方标准《大气污染物综合排放标准》DB**/****-****氮氧化物****/*.**碱雾****//***地方标准《大气污染物综合排放标准》DB**/***-****磷酸雾***.**.**/颗粒物（RTO）****//**省地方标准《工业炉窑大气污染物排放标准》（DB**/****-****）氮氧化物（RTO）*****//二氧化硫（RTO）****//烟气黑度**林格曼黑度*级// 注：磷酸雾无监测方法，待国家污染物监测方法标准发布后实施。实测的工业炉窑排气筒中大气污染物排放浓度，应换算为基准含氧量下的排放浓度，并以此浓度作为判定排放是否达标的依据。 厂区内VOCs无组织排放监控点浓度执行**省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB**/****-****）中表*标准，具体见表*-**。 表*-**厂区内VOCs无组织排放限值（单位：mg/m*） 污染物项目特别排放限值限值含义无组织排放监控位置NMHC*监控点处*h平均浓度值在厂房外设置监控点**监控点处任意一次浓度值 *、废水 本项目一般清洗废水经处理后回用；磨划废水**%经处理后回用，**%接管至**高新区污水处理厂；碱喷淋装置排水、local scrubber清洗废水经现有含氟废水处理系统*处理后，与经本次新增的含镍废水预处理系统预处理的电镀镍废水、含银废水预处理系统处理的电镀银废水、含重金属废水预处理系统预处理的电镀铜和湿法刻蚀、电镀附属设备等处理后的含重金属废水，经本次新增的含氰废水预处理系统处理后的电镀金环节废水、金废液，助焊剂清洗、去胶、植球清洗、显影、零件清洗槽、干法刻蚀清洗废水、晶背减薄清洗废水、生产区生活污水等环节废水合并后，经由厂内综合废水预处理系统+综合废水处理系统处理，处理后出水与**%磨划废水、经研磨废水处理系统处理后的研磨废水、纯水制备弃水、蒸汽冷凝水合并，通过DW***接管至**高新区污水处理厂，生活区生活污水经化粪池预处理后，通过DW***接管至***清泉水处理有限公司。 DW***排放口接管执行**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*中间接排放限值，详见表*-**。 表*-** DW***接管标准 污染物接管标准（mg/L）污染物排放监控位置pH（无量纲）*-*企业废水总排放口COD≤***SS≤***氨氮≤**总磷≤*总氮≤**五日生化需氧量≤**氟化物≤**总氰化物≤*.*LAS≤*总铜≤*.*总镍≤*.**车间或生产设施废水排放口总银≤*.*标准**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*中的间接排放限值 DW***排放口COD、SS执行《污水综合排放标准》（GB****-****）表*中三级标准，氨氮、总磷、总氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》GB/T*****-****（）表*中B等级标准，详见表*-**。 表*-** DW***接管标准 污染物接管标准（mg/L）COD***SS***氨氮**总磷*总氮**标准《污水综合排放标准》(GB****-****)中表*三级标准和《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T*****-****)表*中B等级标准 本项目单位产品基准排水量执行**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*中圆片级封装产品标准，具体见下表。 表*-**单位产品基准排水量 序号产品规格单位单位产品基准排水量污染物排放监控位置*圆片级封装产品m*/片**排水量计量位置与污染物排放监控位置一致注：本表中规定的单位产品基准排水量值应按照满产情况进行测算。 本项目回用水（一般清洗废水、**%磨划废水）执行《城*污水再生利用工业用水水质》（GB/T *****-****）表*中工艺与产品用水标准，详见表*-**。 表*-**《城*污水再生利用工业用水水质》（单位：mg/L） 控制项目洗涤用水控制项目洗涤用水pH值*.*~*.*浊度≤*（NTU）色度≤**（度）生化需氧量（BOD*）≤**化学需氧量（CODCr）≤**铁≤*.*锰≤*.*氯离子≤***二氧化硅（SiO*）**总硬度（以CaCO*计）≤***悬浮物（SS）≤-总碱度（以CaCO*计）≤***硫酸盐≤***氨氮（以N计）≤**总磷（以P计）≤*溶解性总固体≤****石油类≤*阴离子表面活性剂*.*粪大肠菌群（个/L）≤**** **高新区污水处理厂出水COD、总氮、SS执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（DB**/****-****）表*中A标准；氨氮排放浓度≤*（*）mg/L；氟化物排放浓度小于*.*mg/L；总磷执行《地表水环境质量标准》（GB****-****）中的III类水标准；总铜、氰化物执行《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*中的特别排放限值；详见表*-**。 表*-****高新区污水处理厂废水污染物排放标准 污染物尾水排放标准（mg/L）pH*-*COD≤**SS≤**氨氮≤*.*（*）总磷≤*.*总氮≤**（**）氟化物＜*.*总铜≤*.*总镍≤*.**总银≤*.*LAS≤*.*总氰化物≤*.* 注：括号外数值为水温>**℃时的控制指标，括号内数值为水温≤**℃时的控制指标。 ***清泉水处理有限公司出水执行**省地方标准《**地区城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值》（DB**/****-****）表*标准和《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB*****-****）表*一级A标准。自****年*月**日起，***清泉水处理有限公司出水执行**省地方标准《城镇污水处理厂污染物排放标准》（DB**/****-****）中一级C标准。 表*-** **高新区污水处理厂废水污染物排放标准 污染物尾水排放标准（mg/L）****年*月**日前****年*月**日后pH*-**-*COD****SS****氨氮*（*）*（*）总磷*.**.*总氮**（**）**（**） 注：括号外数值为水温>**℃时的控制指标，括号内数值为水温≤**℃时的控制指标。 *、噪声 本项目施工期噪声排放标准执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB*****-****），营运期噪声排放标准执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB*****-****)中的*类、*类标准。 厂界噪声排放标准见表*-**。 表*-**厂界噪声标准值单位：Leq dB(A) 排放时段昼间(*:**－**:**)夜间(**:**－*:**)施工期****营运期北、西、东厂界****南厂界**** *、固废贮存标准 本项目一般工业固废储存按《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB*****-****）中相关规定执行； 危险废物储存按《危险废物贮存污染控制标准》（GB*****-****）、《省生态环境厅关于进一步加强危险废物污染防治工作的实施意见》（苏环办〔****〕***号）中相关规定执行； 生活垃圾处理执行《城*生活垃圾处理及污染防治技术政策》（建城[****]***号）和《生活垃圾处理技术指南》（建城[****]**号）以及国家、省*关于固体废物污染环境防治的法律法规。 总量 控制 指标 根据《省政府办公厅关于印发**省**流域建设项目重点水污染物排放总量指标减量替代管理暂行办法的通知》（苏政办发〔****〕**号）、*****生态环境局发布的文件《***排污总量指标管理办法（试行）》（澄政办发〔****〕**号）项目排污特征，确定本项目总量控制因子为： 废气：颗粒物、氮氧化物、VOCs、二氧化硫；其他废气污染物为特征因子； 废水：COD、氨氮、总氮、总磷；其他废水污染物为特征因子。 固废：各类固废。 建设项目污染物排放总量指标见表*-**。 表*-**建设项目污染物排放总量指标（单位：t/a） 污染物名称现有项目本项目“以新带老”削减量扩建后全厂实际排放量扩建后全厂批复排放量排放增减量实际排放量批复排放量产生量削减量排放量废气有组织挥发性有机物**.***.****.*******.******.*******.******.******.****其中异丙醇**.****.****.***.***.*****.****.***.**丙酮***.**.***.******.***.***.****颗粒物*.****.****.******.******.*****.*****.****SO**.***.*****.******.******.****.*****.****NOx*.*****.*****.*****.***.******.******.*****.****硫酸雾*.****.*****.******.*****.******.*****.*****.****氯化氢*.****.****.*****.*****.******.*****.*****.****氟化物*.****.******.******.*****.******.*****.*****.****氨*.******.**********.******.******磷酸雾***.*****.*****.******.*****.*****.****硫化氢*.*****.*********.*****.*****无组织挥发性有机物**.***.***.*******.*******.******.******.****其中异丙醇*.***.***.****.*****.****.***.**丙酮***.******.******.*****.*****.****NOx*.****.********.*****.*****硫酸雾*.***.***.******.******.*****.*****.****氯化氢*.****.****.******.******.*****.*****.****氟化物*.****.********.*****.*****氨*.******.**********.******.******磷酸雾***.******.******.*****.*****.****硫化氢*.*****.*********.*****.*****合计挥发性有机物**.***.****.*******.******.*******.******.******.****其中异丙醇**.****.*****.****.****.*****.****.***.****丙酮****.***.****.***.***.**颗粒物*.****.****.******.******.*****.*****.****SO**.***.*****.******.*****.****.*****.***NOx*.****.*****.*****.***.******.******.*****.****硫酸雾*.****.*****.******.*****.******.*****.*****.****氯化氢*.****.****.*****.*****.******.*****.*****.****氟化物*.****.******.******.*****.******.*****.*****.****氨*.*****.*********.*****.*****磷酸雾***.*****.*****.******.*****.*****.****硫化氢*.****.********.****.****废水生产区水量*******/**************/*************.**********.**** ******.****/******.************.****/*******.***********.****/*******.**********.****/******.****COD***.**/**.******.**/**.******.**** **.******.****/*.**** ****.****/**.*******.****/**.******.****/*.**** SS***.**/**.******.**/**.******.**** **.**** **.****/*.**** ****.****/**.*******.****/**.******.****/*.**** 氨氮*.**/*.****.**/*.*****.**** **.*****.****/*.**** **.****/*.*****.****/*.*****.****/*.**** 总磷*.**/*.****.**/*.*****.**** ***.**** *.****/*.**** **.****/*.*****.****/*.*****.****/*.**** 总氮**.**/*.*****.**/*.*****.**** **.***.****/*.**** ***.****/**.******.****/**.*****.****/*.**** LAS***.**** *.*****.****/*.**** **.****/*.*****.****/*.*****.****/*.**** 氟化物*.**/*.****.**/*.****.**** *.*****.****/*.******.****/*.*****.****/*.*****.****/*.****总铜*.**/*.***.**/*.*****.**** *.*****.****/*.**** **.****/*.*****.****/*.*****.****/*.**** 总镍***.**** *.*****.****/*.**** **.****/*.**** *.****/*.**** *.****/*.**** 总银***.**** *.*****.****/*.**** **.****/*.**** *.****/*.**** *.****/*.**** 总锡***.**** *.******.*****/*.***** **.*****/*.***** *.*****/*.***** *.*****/*.***** 总钛***.**** *.*****.****/*.**** **.****/*.**** *.****/*.**** *.****/*.**** 氰化物***.**** *.******.*****/*.***** **.*****/*.***** *.*****/*.***** *.*****/*.***** 清净下水水量******/************/***********.**********.****/*****.***********.****/******.**********.****/******.*********.****/*****.****COD**.**/**.****.**/**.***.**** **.****/*.*******.****/**.******.****/**.*****.****/*.****SS*.**/*.***.**/*.***.**** **.****/*.*******.****/**.******.****/**.*****.****/*.****初期雨水水量*****/***************/**********/******COD*.****/*.**********.****/*.*****.****/*.*****SS*.****/*.**********.****/*.*****.****/*.*****生活区生活污水水量******/************/*****************/************/************/***********/*****COD**.**/*.*****.**/*.****.*****.*****.****/*.*******.***/*.****.***/*.****.****/*.****SS**.**/*.****.**/*.****.*****.*****.****/*.*******.***/*.******.***/*.******.****/*.****氨氮*.**/*.****.**/*.****.******.****/*.******.****/*.*****.****/*.*****.****/*.****总磷*.**/*.*****.**/*.*****.******.****/*.******.****/*.*****.****/*.*****.****/*.****总氮*.**/*.****.**/*.***.******.****/*.*******.****/*.******.****/*.*****.****/*.****全厂合计水量*******/**************/*************.**********.**********.****/******.************.****/*******.***********.****/*******.**********.****/******.****COD***.****/**.*******.**/**.******.******.*******.****/**.********.****/**.*******.****/**.*******.****/**.****SS***.****/**.*******.**/**.******.*******.******.****/*.********.****/**.*******.****/**.******.****/*.****氨氮**.**/*.*****.**/*.*****.*****.*****.****/*.*******.****/*.******.****/*.*****.****/*.****总磷*.**/*.*****.**/*.*****.*****.*****.****/*.******.****/*.*****.****/*.*****.****/*.****总氮**.**/**.*****.**/**.*****.*****.*****.****/*.*******.****/**.******.****/**.*****.****/*.****LAS***.**** *.*****.****/*.**** **.****/*.*****.****/*.*****.****/*.****氟化物*.**/*.****.**/*.****.*****.*****.****/*.******.****/*.*****.****/*.*****.****/*.****总铜*.**/*.***.**/*.*****.*****.*****.****/*.******.****/*.*****.**/*.*****.****/*.****总镍***.**** *.*****.****/*.**** **.****/*.**** *.****/*.**** *.****/*.**** 总银***.**** *.*****.****/*.**** **.****/*.**** *.****/*.**** *.****/*.**** 总锡***.**** *.******.*****/*.***** **.*****/*.***** *.*****/*.***** *.*****/*.***** 总钛***.**** *.*****.****/*.**** **.****/*.**** *.****/*.**** *.****/*.**** 氰化物***.**** *.******.*****/*.***** **.*****/*.***** *.*****/*.***** *.*****/*.***** 固废******.********.********* 由上表可见，本项目废水产生量为******.****t/a，接管量为******.****t/a，本项目新增COD排放量为**.****t/a（其中生产区废水*.****t/a、清净下水*.****t/a、生活区生活污水*.****t/a），新增氨氮排放量为*.****t/a（其中生产区废水*.****t/a、生活区生活污水*.****t/a），新增TN排放量为*.****t/a（其中生产区废水*.****t/a、生活区生活污水*.****t/a），新增总磷排放量为*.****t/a（其中生产区废水*.****t/a、生活区生活污水*.****/a），废水新增排放总量**%在高新区平衡，**%在*级统筹量内跨区域平衡，新增废水排放量包含清净下水共*****.****吨/年、生活区生活污水共*****t/a，无需平衡总量。 本项目建成后新增废气污染物量为：颗粒物*.****t/a、氮氧化物*.****t/a、二氧化硫*.***t/a、VOCs**.****t/a。根据总量控制原则，本项目新增总量在在高新区和*级统筹量内跨区域平衡。新增废气特征污染物满足达标排放要求。 固体废物排放量为零，符合总量控制要求。 四、主要环境影响和保护措施 施工 期环 境保 护措 施 本项目施工期工程主要有研发车间、停车楼、研发生产厂房的建设，环保设施、辅助设施、设备的安装等，施工过程会对周围地表水环境、大气环境及区域环境噪声均会产生一定的影响，本项目施工期较短，影响较小。 运营 期环 境影 响和 保护 措施 *、废气 根据本项目大气专项评价，本项目大气环境影响可接受 *、废水 *.*废水产排情况 本项目废水主要为生活污水、生产废水、清净下水。其中生活污水分为生产区生活污水和生活区生活污水。生产废水含纯水清洗、硅片盒清洗、清洗旋干机等环节产生的一般清洗废水，边缘处理、去边、晶背减薄、切割等环节产生的磨划废水，化学机械抛光、研磨环节产生的研磨废水，电镀金环节产生的电镀金废水，电镀、酸洗、湿法刻蚀、电镀附属设备产生的含重金属废水，显影、零件清洗槽等环节产生的含氮废水，去胶、植球清洗、助焊剂清洗环节产生的有机废水，晶背减薄清洗、干法刻蚀清洗、local scrubber清洗、碱喷淋装置产生的有机含氮含氟废水等。清净下水包括车间新风系统蒸汽冷凝水和纯水系统纯水制备弃水。其中，一般清洗废水全部回用，磨划废水经处理后**%回用，其他生产区废水最终均通过厂内综合废水处理系统处理达标后接管至**高新区污水处理厂。本项目清净下水不通过雨水管网进行排放，直接通过DW***排放口接管至**高新区污水处理厂进水口。 本项目生产废水和生产区生活污水处理后与清净下水合并，可达**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*中的间接排放限值要求后接管至**高新区污水处理厂，生活区生活污水经化粪池处理后达《污水综合排放标准》(GB****-****)中表*三级标准和《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T*****-****)表*中B等级标准后接管至***清泉水处理有限公司。企业单位产品基准排水量满足**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*要求。从水质水量、接管标准等方面综合考虑，项目废水接管至**高新区污水处理厂、***清泉水处理有限公司集中处理是可行的。项目对地表水环境的影响可以接受。 *、噪声 根据参考同类型项目实际运行情况，清洗机、涂胶机、蚀刻机、溅射机研磨机等生产设备运行时噪声源强较小，因此本项目噪声源强主要为各类风机和水泵，噪声源强≤**dB(A)，正常工况下，建设单位厂界执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB*****-****)中的*类、*类标准（其中西厂界、北厂界、东厂界为*类标准，南厂界为*类标准）。 *、固体废物 本项目一般固体废物经收集后综合利用，危险废物位于有资质单位进行合理处置，生活垃圾环卫清运。 *、地下水、土壤 拟建项目应按照设计要求进行防渗处理，对可能造成污染的装置、设置加大检修、维护力度，尽可能杜绝事故发生。在采取了上述土壤环境污染防控措施后，本项目土壤和地下水环境影响是可以接受的。 *、生态 本项目不属于产业园区外新增用地项目，且用地范围内无生态环境保护目标，因此无需相应生态保护措施。 *、环境风险 根据环境风险专项评价，本项目环境风险可接受。 五、环境保护措施监督检查清单 内容 要素 排放口(编号、 名称)/污染源 污染物项目 环境保护措施 执行标准 大气环境 DA*** 氟化物 一级碱喷淋 最高允许排放浓度≤*.*mg/m* 达**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*标准、***地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB**/***-****）标*标准 氮氧化物 最高允许排放浓度≤**mg/m* 非甲烷总烃 最高允许排放浓度≤**mg/m* TVOC 最高允许排放浓度≤***mg/m* 氨气 最高允许排放浓度≤**mg/m* 硫酸雾 最高允许排放浓度≤*.*mg/m* 氯化氢 最高允许排放浓度≤**mg/m* 碱雾 最高允许排放浓度≤**mg/m* 磷酸雾最高允许排放浓度≤*.*mg/m*，最大允许排放速率≤*.**kg/h 颗粒物 最高允许排放浓度≤**mg/m* DA*** 非甲烷总烃 沸石转轮+RTO 最高允许排放浓度≤**mg/m* 达**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*标准、 **省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB**/****-****）标*标准、**省地方标准《工业炉窑大气污染物排放标准》（DB**/****-****） TVOC 最高允许排放浓度≤***mg/m* 异丙醇 最高允许排放浓度≤**mg/m* 二氧化硫 最高允许排放浓度≤**mg/m* 颗粒物 最高允许排放浓度≤**mg/m* 氮氧化物 最高允许排放浓度≤***mg/m* 无组织排放 硫酸雾 / *.*mg/m* 达**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*标准、**省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB**/****-****）中表*标准 氯化氢 *.*mg/m* 非甲烷总烃 *.*mg/m* 地表水环境 磨划废水、一般清洗废水 COD 磨划废水处理系统处理后回用 ≤**mg/L 《城*污水再生利用工业用水水质》（GB/T*****-****）表*中“工艺用水”标准 SS - 生产区生产废水+生产区生活污水 COD 废水处理系统 ≤***mg/L 达**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）表*中间接排放限值 SS ≤***mg/L 氨氮 ≤**mg/L TN ≤**mg/L TP ≤*mg/L 氟化物（预处理系统出水） ≤**mg/L 镍（预处理系统出水） ≤*.**mg/L 银（预处理系统出水） ≤*.*mg/L LAS ≤*mg/L 总氰化物（预处理系统出水） ≤*.*mg/L 铜（预处理系统出水） *.*mg/L 生活区生活污水 COD 化粪池 ***mg/L 《污水综合排放标准》(GB****-****)中表*三级标准和《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T*****-****)表*中B等级标准 SS ***mg/L 氨氮 **mg/L TN **mg/L TP *mg/L 声环境 生产及辅助设备 噪声源强≤**dB（A） 选择用低噪声设备，设备设置于室内，车间厂房隔声，距离衰减 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB*****-****）表*中*类、*类标准 电磁辐射 / / / / 固体废物 一般固废收集后综合利用； 危险废物收集后委托有资质单位进行合理处置； 生活垃圾环卫清运。 土壤及地下水 污染防治措施 重点防渗区：危废堆场、甲仓、乙仓、污水站等，防渗要求为等效黏土防渗层Mb≥*.*m，K≤*×**-*cm/s或参照GB*****执行； 一般防渗区：一般固废堆场，等效黏土防渗层Mb≥*.*m，K≤*×**-*cm/s或参照GB*****执行； 简单防渗区：办公区等，一般地面硬化。 生态保护措施 本项目不涉及 环境风险 防范措施 包括原料贮运安全防范措施、泄漏事故的防范措施、安全生产管理系统、火灾事故应急处置措施、危险废物的环境风险防范措施、制定应急预案等。并设置事故池，项目建设后将按照《关于印发<应急**调查指南（试行）>的通知》（环办应急〔****〕**号）的要求设置环境应急**。 其他环境 管理要求 *、本项目属于《固定污染源排污许可分类管理名录（****年版）》中“三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业”中“**电子器件制造***、电子元件及电子专用材料制造***”-“纳入重点排污单位名录的”，属于重点管理。本项目建成后，应按《排污单位自行监测技术指南电子工业》（HJ ****-****）要求开展例行监测。 *、建设单位应制定全面的环境管理计划和环境管理方案，建立环保管理制度，并规范排污口设置，设置一个雨水接管口和一个污水接管口，严格执行环境监测计划，以保证建设单位的环境保护制度化和系统化，保证建设单位环保工作持久开展，保证建设单位能够持续发展生产。 六、结论 综上所述，本报告认为，在采取相应环保措施后，本项目在拟建地的建设是可行的。 附表 建设项目污染物排放量汇总表 项目 分类 污染物名称 现有工程 排放量（固体废物产生量）① 现有工程 许可排放量 ② 在建工程 排放量（固体废物产生量）③ 本项目 排放量（固体废物产生量）④ 以新带老削减量（**项目不填）⑤ 本项目建成后 全厂排放量（固体废物产生量）⑥ 变化量 ⑦ 废气 有组织 挥发性有机物 **.* **.* * **.**** / **.**** **.**** 其中 异丙醇 **.** **.** * *.** / **.** *.** 丙酮 * * * *.**** / *.** *.**** 颗粒物 *.*** *.*** * *.**** / *.**** *.**** SO* *.** *.**** * *.**** / *.*** *.**** NOx *.*** **.**** * *.**** / *.**** *.**** 硫酸雾 *.*** *.*** * *.**** / *.**** *.**** 氯化氢 *.*** *.*** * *.**** / *.**** *.**** 氟化物 *.*** *.**** * *.**** / *.**** *.**** 氨 *.***** *.***** * * / *.***** * 磷酸雾 * * * *.**** / *.**** *.**** 硫化氢 *.**** *.**** * * / *.**** * 无组织 挥发性有机物 **.* **.* * **.**** / **.**** **.**** 其中 异丙醇 *.** *.** * *.** / **.** *.** 丙酮 * * * *.**** / *.**** *.**** NOx *.*** *.*** * * / *.**** * 硫酸雾 *.** *.** * *.**** / *.**** *.**** 氯化氢 *.*** *.*** * *.**** / *.**** *.**** 氟化物 *.*** *.*** * * / *.**** * 氨 *.***** *.***** * * *.***** * 磷酸雾 * * * *.**** *.**** *.**** 硫化氢 *.**** *.**** * * *.**** * 合计 挥发性有机物 **.* **.* * **.**** / **.**** **.**** 其中 异丙醇 **.** **.** * **.** / **.** **.** 丙酮 * * * *.** / *.** *.** 颗粒物 *.*** *.*** * *.**** / *.**** *.**** SO* *.** *.**** * *.*** / *.*** *.*** NOx *.** **.**** * *.**** / *.**** *.**** 硫酸雾 *.*** *.*** * *.**** / *.**** *.**** 氯化氢 *.*** *.*** * *.**** / *.**** *.**** 氟化物 *.*** *.**** * *.**** / *.**** *.**** 氨 *.**** *.**** * * / *.**** * 磷酸雾 * * * *.**** / *.**** *.**** 硫化氢 *.*** *.*** * * / *.*** * 废水 生产区 水量 ******* /******* ******* /******* * ******.**** /******.**** * *******.**** /*******.**** ******.**** /******.**** COD ***.** /**.*** ***.** /**.*** * **.**** /*.**** * ***.**** /**.**** **.**** /*.**** SS ***.** /**.*** ***.** /**.*** * **.**** /*.**** * ***.**** /**.**** **.**** /*.**** 氨氮 *.** /*.*** *.** /*.**** * *.**** /*.**** * *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总磷 *.** /*.*** *.** /*.**** * *.**** /*.**** * *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总氮 **.** /*.*** **.** /*.*** * *.**** /*.**** * **.**** /**.**** *.**** /*.**** LAS * * * *.**** /*.**** * *.**** /*.**** *.**** /*.**** 氟化物 *.** /*.*** *.** /*.*** * *.**** /*.**** * *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总铜 *.** /*.** *.** /*.**** * *.**** /*.**** * *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总镍 * * * *.**** /*.**** * *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总银 * * * *.**** /*.**** * *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总锡 * * * *.***** /*.***** * *.***** /*.***** *.***** /*.***** 总钛 * * * *.**** /*.**** * *.**** /*.**** *.**** /*.**** 氰化物 * * * *.***** /*.***** * *.***** /*.***** *.***** /*.***** 清净下水 水量 ****** /****** ****** /****** * *****.**** /*****.**** * ******.**** /******.**** *****.**** /*****.**** COD **.** /**.** **.** /**.** * *.**** /*.**** * **.**** /**.**** *.**** /*.**** SS *.** /*.** *.** /*.** * *.**** /*.**** * **.**** /**.**** *.**** /*.**** 初期雨水 水量 ***** /***** / * * * ***** /***** * COD *.**** /*.**** / * * * *.**** /*.**** * SS *.**** /*.**** / * * * *.**** /*.**** * 生活区生活污水 水量 ****** /****** ****** /****** * ***** /***** * ****** /****** ***** /***** COD **.** /*.*** **.** /*.** * **.**** /*.**** * **.*** /*.** **.**** /*.**** SS **.** /*.** **.** /*.** * **.**** /*.**** * **.*** /*.**** **.**** /*.**** 氨氮 *.** /*.*** *.** /*.*** * *.**** /*.**** * *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总磷 *.** /*.**** *.** /*.**** * *.**** /*.**** * *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总氮 *.** /*.*** *.** /*.** * *.**** /*.**** * **.**** /*.**** *.**** /*.**** 全厂 废水量 ******* /******* ******* /******* * ******.**** /******.**** / *******.**** /*******.**** ******.**** /******.**** COD ***.** /**.*** ***.** /**.*** * ***.**** /**.**** / ***.**** /**.**** ***.**** /**.**** SS ***.** /**.*** ***.** /**.*** * **.**** /*.**** / ***.**** /**.**** **.**** /*.**** 氨氮 **.** /*.*** **.** /*.**** * *.**** /*.**** / **.**** /*.**** *.**** /*.**** 总磷 *.** /*.**** *.** /*.**** * *.**** /*.**** / *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总氮 **.** /**.*** **.** /**.*** * *.**** /*.**** / **.**** /**.**** *.**** /*.**** LAS * * * *.**** /*.**** / *.**** /*.**** *.**** /*.**** 氟化物 *.** /*.*** *.** /*.*** * *.**** /*.**** / *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总铜 *.** /*.** *.** /*.**** * *.**** /*.**** / *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总镍 * * * *.**** /*.**** / *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总银 * * * *.**** /*.**** / *.**** /*.**** *.**** /*.**** 总锡 * * * *.***** /*.***** / *.***** /*.***** *.***** /*.***** 总钛 * * * *.**** /*.**** / *.**** /*.**** *.**** /*.**** 氰化物 * * * *.***** /*.***** / *.***** /*.***** *.***** /*.***** 一般工业固体废物 纯水站废滤料 ** ** * ** / ** ** 废金属 *.** *.** * *.* / *.** *.* 废Wafer *.** *.** * *.* / *.** *.* 炭渣 * * * *.** / *.** *.** 一般污泥 **** **** * *** / **** *** 废品 **.* **.* * *.* / **.* *.* 硬纸板 ***.** ***.** * ** / ***.** ** 木头 **.** **.** * ***.** / ***.** ***.** 海绵/泡棉 **.** **.** * * **.** * 铝箔袋 **.** **.** * * / **.** *. 废PVC手套 **.** **.** * * / **.** *. 废塑料 ***.** ***.** * * / ***.** * 头套、口罩、FAB一般垃圾 **.** **.** * * / **.** * 废纸 **.** **.** * * / **.** * 废无尘布 **.** **.** * * / **.** * 空气过滤废滤料 ** ** * ** / *** ** 危险废物 废有机溶液 ***** ***** * ****.** / *****.** ****.** 废蚀刻液 **** **** * ***.* / ****.* ***.* 废电镀液 *** *** * **.** / ***.** **.** 废酸 ***.* ***.* * ***.** / ***.** ***.** 废水处理废滤料 ** ** * ** / ** ** 废树脂 * * * * / * * 含铜污泥 * * * ** / ** ** 含镍污泥 * * * ** / ** ** 含银污泥 * * * ** / ** ** 含氟废水处理系统*污泥 *** *** * * / *** *. 研磨废水处理污泥 *** *** * ** / *** ** 废玻璃 * * * ** / ** ** 蒸发残液 **** **** * * / **** * 实验室废液 * * * * / ** * 废滤料（拉西环） *.* *.* * *.* / * *.* 废油 * * * * / * * 废汞灯 * * * *.* / *.* *.* 废PET膜 ** ** * * / ** * 废过滤棉 * * * * / * * 废清洁布 ** ** * * / ** * 废试剂瓶 * * * * / * * 废油漆桶 * * * * / * * 废原料包装桶 ***（*****只） ***（*****只） * ***（*****只） / ***（*****只） ***（*****只） 废活性炭 *** *** * * *** * 废沸石 * * * * ** * 生活垃圾 **** **** * *** / **** *** 注：⑥=①+③+④-⑤；⑦=⑥-①