浙江广芯微电子有限公司 6英寸高端特色硅基晶圆代工项目 （先行）竣工环境保护验收公示

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根据《建设项目环境保护管理条例》和《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》要求，****年*月*日，**广芯微电子有限公司邀请相关单位人员及专家组成验收工作组，根据**齐鑫环境检测有限公司编制的《**广芯微电子有限公司*英寸高端特色硅基晶圆代工项目先行竣工环境保护验收监测表》（QX(竣)********），严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、本项目环境影响评价报告表和审批部门审批意见等要求对本项目进行验收现场检查，提出现场检查意见如下： 一、工程建设基本情况 *、建设地点、规模、主要建设内容 **广芯微电子有限公司位于**省*********街道七百秧街***号，总占地面积*****m*，**厂房、仓库及附属设施，实施*英寸高端特色硅基晶圆代工项目。项目主要采用光刻、刻蚀、离子注入、扩散、台面腐蚀等生产技术，购置涂胶机、曝光机、显影机、干刻机等国产、进口设备。目前形成年产**万片*英寸高端特色硅基晶圆的生产能力。 项目工作制度及定员：本项目劳动定员***人，年工作日为***天，生产部门实行三班制（****h），行政部门单班制，厂区内设职工食堂和宿舍。 *、建设过程及环保审批情况 公司于****年*月委托***环科环保咨询有限公司编制了《**广芯微电子有限公司*英寸高端特色硅基晶圆代工项目环境影响报告表》，并于****年*月*日取得了***生态环境局（**经济技术开发区环境保护局）《关于**广芯微电子有限公司*英寸高端特色硅基晶圆代工项目环境影响报告表的审查意见》丽环建开[****]**号文件。项目****年**月开工，****年*月投入试生产，目前形成年产**万片*英寸高端特色硅基晶圆的生产能力。项目于****年*月进行排污许可登记，编号《********MA*AR*LT*****Y》。 *、投资情况 项目实际总投资为*****万元，环保实际投资额为****万元，占项目实际总投资的**.*%。 *、验收范围 本次验收为**广芯微电子有限公司*英寸高端特色硅基晶圆代工项目先行验收，验收产能为年产**万片*英寸高端特色硅基晶圆（**万片沟槽肖特基二极管、**万片平面VDMOS）。 二、工程变动情况 根据项目《竣工环保验收监测表》及现场检查：项目部分厂房设备未建设，验收产能为年产**万片*英寸高端特色硅基晶圆（**万片沟槽肖特基二极管、**万片平面VDMOS）；其它建设情况与环评基本一致，无重大变动。 三、环境保护设施建设情况 *、废水 项目产生的废水主要有生活污水、生产废水（工艺酸碱废水、含氟废水、研磨废水、有机废水、纯水制备系统废水和废气洗涤塔废水）。 工艺酸碱废水和废气洗涤塔废水进入酸碱废水处理系统（TW***）处理，含氟废水进入进含氟废水处理系统（TW***）处理，研磨废水排入研磨废水处理系统（TW***）处理，有机废水进入进有机废水处理系统（TW***）处理。上述工艺废水分质分流处理后达到《电子工业水污染排放标准》（GB*****-****）中表*间接排放限值（其中氨氮排放执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB**/***-****）中标准限值）后与纯水制备系统废水汇至生产废水标排口DW***，标排口安装在线监测，后废水进入污水总排口DW***与经化粪池或隔油池预处理后的生活污水纳管排放，所有废水最终进入水阁污水处理厂处理达标后排放。具体处理工艺及处理能力（***t/d）详见验收监测报告。 *、废气 本项目废气主要为酸性废气、碱性废气、有机废气、其他工艺尾气、废气处理装置天然气燃烧废气、污水处理站废气和少量化学品储存和使用废气。 湿法蚀刻酸性废气设置通风柜收集进入一套酸性废气处理系统（TA***，*碱液喷淋塔*用*备）处理后由**m排气筒（DA***）排放，总排风量为******m*/h；项目不含砷工艺尾气采用电热+水洗SCURBBER净化装置处理后尾气再纳入酸性废气处理系统（TA***）处理后最终由**m排气筒（DA***）排放；项目含砷工艺废气采用干式吸附SCURBBER净化装置处理+二级吸附处理系统处理后纳入酸性废气处理系统（TA***）处理，最终由**m排气筒（DA***）排放；碱性废气设置碱性废气处理系统（TA***，*台酸液喷淋塔*用*备）对碱性废气进行处理后由**m排气筒（DA***）排放，总排风量为*****m*/h；有机废气收集后经过沸石转轮&直接燃烧+深度过滤系统（TA***）进行处理后由**m排气筒（DA***）排放，总排风量为*****m*/h，天然气燃烧废气经有机废气排气筒（DA***）和处理后的有机废气一同排放。酸碱废水处理系统废气采用*套碱液喷淋处理设施（TA***）处理后经**m排气筒（DA***）排放，最大风量为****m*/h；有机废水处理系统废气采用*套碱液喷淋处理设施（TA***）处理后经**m排气筒（DA***）排放，最大风量为*****m*/h。公司生产厂房一层化学品供应间设置排风系统，根据供应化学品的性质将排风与厂区酸、碱和有机排风系统连接，将化学品供应过程中挥发的废气排入相应的废气处理系统排放；化学品仓库均设置应急系统，收集处置突发环境事件中挥发或散逸的废气后达标排放。 *、噪声 项目噪声主要为机械设备的运行噪声。通过合理布局和选用低噪设备等措施来降低设备运行时产生的噪声以及减少对周边环境的影响。 *、固废 项目危险废物有废碱液、废酸液、废有机溶剂、含金属废液、废抹布（沾染化学物质）、废过滤芯、废化学品包装材料、废铅酸电池和镉电池、废汞灯、废矿物油、废填料、废吸附过滤介质、含氟污泥、研磨污泥；一般固体废物有有机污泥、废离子交换树脂、废靶材、一般废包装材料、废抛光垫、不合格品、一般废过滤介质和生活垃圾。 废碱液、废酸液委托**威尔森新材料有限公司和**育隆环保科技有限公司处置；废矿物油、废有机溶剂、含金属废液委托**育隆环保科技有限公司处置；废铅酸电池和镉电池、废汞灯委托**光大环保固废处置有限公司处置；废抹布（沾染化学物质）、废过滤芯、废化学品包装材料、废填料、废吸附过滤介质、含氟污泥、研磨污泥委托**育隆环保科技有限公司和**光大环保固废处置有限公司处置；废靶材、一般废包装材料、废抛光垫、不合格品外售至物资回收单位；有机污泥、废离子交换树脂、一般废过滤介质和生活垃圾委托环卫部门清运处置。 *、其它 企业生产废水标排口（DW***）已安装在线监测；已基本落实环境风险防范措施，设有*座应急池****m*，位于**站，并制定了环境风险事故应急预案，已备案（******-****-**-M）。 四、环境保护设施调试效果 *、废水 根据监测结果，公司外排废水经预处理后各指标浓度能达到《电子工业水污染物排放标准》（GB*****-****）中表*间接排放限值要求，其中氨氮排放能达到《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB**/***-****）中标准限值要求，五日生化需氧量排放能达到《污水综合排放标准》（GB****-****）中三级标准要求。 有机废水处理设施对化学需氧量、石油类、和五日生化需氧量的去除率分别能达到**.**%、**.**%、**.**%。酸性废水处理设施对氨氮、总氮、总磷的去除率分别能达到**.**% 、**.**%、**.**%。含氟废水处理设施对氟化物的去除率能达到**.**%。研磨废水处理设施对悬浮物的去除率能达到**.**%。 *、废气 无组织排放：公司厂界无组织排放监控点非甲烷总烃、硫酸雾、氟化物、氯化氢、氨、氮氧化物、氯气、颗粒物、臭气浓度和砷均能达到《大气污染物综合排放标准》（GB*****-****）中无组织排放监控浓度限值、***《大气污染物综合排放标准》（DB**/***-****）表*II时段标准限值和《恶臭污染物排放标准》（GB*****-**）厂界标准。 有组织排放：项目各废气处理设施排放口的颗粒物、氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾、非甲烷总烃、氯气排放浓度和速率均能达到《大气污染物综合排放标准》（GB*****-****）中新污染源大气污染物最高允许排放浓度的二级标准值要求，有组织排放的砷及其化合物、氨能达到***《大气污染物综合排放标准》（DB**/***-****）表*II时段标准要求。 周边敏感目标北师大**实验学校环境空气中氮氧化物、氨气、氯化氢、氟化物、总悬浮颗粒物能达到《环境空气质量标准》（GB****-****）及修改单中的二级标准和环评建议值要求。 *、噪声 验收监测期间，项目厂界东侧、南侧昼间、夜间噪声均达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB*****-****）中*类标准要求，厂界西侧、北侧能达到*类标准要求。 *、总量控制情况：根据验收期间监测结果核算，项目实际排放量为COD：**.**t/a、NH*-N：*.***t/a、SO*：*.**t/a、NOX：*.***t/a，符合环评总量控制要求。 五、验收现场检查结论 依据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》（国环规环评[****]*号），**广芯微电子有限公司*英寸高端特色硅基晶圆代工项目先行环保手续齐全。根据《 **广芯微电子有限公司*英寸高端特色硅基晶圆代工项目先行竣工环境保护验收监测表》等资料及环境保护设施现场检查情况，企业基本按照建设项目环境保护“三同时”的有关要求落实了各项环境保护设施与措施。验收组建议通过建设项目竣工环保验收，并按要求公示验收情况。 **广芯微电子有限公司*英寸高端特色硅基晶圆代工项目验收监测表（齐鑫****.*.**）.pdf