铝合金零部件在刻蚀、薄膜沉积设备上的验证项目

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项目基本信息 **项目代码 ****************** 项目名称 铝合金零部件在刻蚀、薄膜沉积设备上的验证项目 审批事项信息 事项名称 企业投资项目备案(工业和信息化投资项目) 申请单位 **北方华创微电子装备有限公司 办结时间 ****-**-** 办理结果 通过 审批文号 京技审项（备）〔****〕***号