硅基光电芯片光电综合参数测量系统-备案公示

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项目名称：硅基光电芯片光电综合参数测量系统 建设内容及规模：项目开发晶圆测试台、自动耦合系统、边缘耦合光探针、可调激光器和功率计、光谱扫描测试分析系统、偏振控制仪等，构建硅光晶圆级光电参数测量系统，形成整套面向硅基光电芯片产品级自动化光电测试与筛选解决方案，实现不少于***片硅光晶圆的检测量，向不低于*家用户开展应用推广。 项目代码：****-******-**-**-****** 项目单位：**九峰山实验室 法人代表姓名:江中平 项目单位性质: 所属行政区划： 项目所属行业： 项目总投资（万元）：***** 建设性质： 拟开工时间：****-** 备案证状态：有效 申报日期：****-**-** **:**:**