单晶金刚石半导体材料制备、才大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备产业化

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项目基本信息 项目代码 ****-******-**-**-****** 项目名称 单晶金刚石半导体材料制备、才大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备产业化 办理结果信息 审批部门 审批事项 审批文号 审批结果 审批时间 **航空港经济综合实验区经济发展局（统计局） 企业投资项目备案 ****-******-**-**-****** 已备案 ****-**-**