国产化超精密加工技术与装备研发中心平台建设

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基本信息省级项目编号****************项目分类其它建设单位 南方科技大学 组织机构代码 ********* 项目所在地**省******详细地址**省******学苑大道****号立项文号****-******-**-**-******立项级别地*级立项批复机关***发展和改革委员会立项批复时间****-**-** **:**:**总投资（万元）*****总面积/长度（平方米/米）*建设规模 项目平台建设主要是自主研发应用于半导体、先进光学、光电信息产业的超精密加工技术及装备，包括光刻机核心元件超精密加工技术及装备、半导体晶圆超精密加工技术及装备、自由电子激光核心元件超精密加工技术及装备，所涉及的技术原理包括等离子体超精密加工、弹性发射加工、酶辅助超精密加工、离子束加工等，该平台建设将打破国外在超精密加工技术与装备领域的弄断地位，为我国相关产业的自主化发展奠定基础。 建设性质工程用途计划开工日期数据等级 B 资金来源项目环节工程招投标 无 合同信息 无 施工图审查 无 施工许可 无 工程竣工验收备案 无 业绩技术指标 无 参建单位暂无信息关键岗位人员暂无信息项目诚信暂无信息