基于8.6代OLED新材料应用的原子层沉积中试线设备和工艺开发

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基本信息省级项目编号****************项目分类其它建设单位 ***原速光电科技有限公司 组织机构代码 MA*EQL*C* 项目所在地**省***前海区详细地址********街道蚝业社区大铲湾蓝色未来科技园二期*栋立项文号****-******-**-**-******立项级别地*级立项批复机关***发展和改革委员会立项批复时间****-**-** **:**:**总投资（万元）****总面积/长度（平方米/米）*建设规模 本项目将自主研发满足中试线及以上尺寸的创新的量产型ALD薄膜沉积系统，大幅度提升材料制备速率，实现大面积高均匀性、高质量、高效率的ALD镀膜，并可精确调控多元氧化物材料的化学组分，开发满足OLED器件电学性能需求的高迁氧化物纳米薄膜新材料的ALD工艺技术，兼容中试线及*.*代线的自动化标准，满足中试线及*.*代线的产能要求，为ALD技术在OLED领域的广泛产业化应用提供重要支撑。 建设性质工程用途计划开工日期数据等级 B 资金来源项目环节工程招投标 无 合同信息 无 施工图审查 无 施工许可 无 工程竣工验收备案 无 业绩技术指标 无 参建单位暂无信息关键岗位人员暂无信息项目诚信暂无信息