ALD原子层沉积设备磋商采购公告
正文内容
项目名称: ALD原子层沉积设备 项目编号:西交材招(****)** 项目联系人:张冠男 项目联系电话:*********** 采购单位联系方式: 采购单位: **交通大学材料学院 采购联系人: 黄小燕 邮箱:*********** 联系地址: *****西路**号**交通大学仲英楼A***室 一、 采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍 因工作需要,拟采购一台ALD原子层沉积设备。主要技术指标要求为:*.真空嵌套双腔;*.辐射加热外热式反应腔,反应温度最高***℃;*.满足*英寸晶圆,可定制方玻璃样品托,最大沉积面积可达***mm;*.真空系统采用油泵+高进精度真空计;*.PLC+工控机沉积自动控制系统。 二、对供应商资格要求(供应商资格条件) (一) 供应商的资格要求: *. 符合《政府采购法》及其实施条例对投标人资格的要求; *. 具有独立法人资格及相关证照,具有良好信誉及合同履行能力,具有良好资金、财务状况。 *. 供应商应为所提供产品的生产企业,或具有所提供生产企业出具的针对本项目的产品授权书。 *. 供应商不得被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为名单记录。 *. 本项目不接受联合体投标。 *. 其他要求: 本项目特殊要求在技术规格指标中列明 (二)供应商报名方式: 符合本公告要求的供应商,填写附件《供应商报名登记表》并由法定代表人、委托代理人分别签字并加盖单位公章后,彩色扫描成PDF文件后发送给采购单位联系人邮箱。 三、采购文件的发售时间及地点等: 磋商时间:****年*月**日**点 磋商地点:仲英楼材料学院 获取磋商文件时间:****年*月**日-****年*月**日**点 获取磋商文件方式:报名审核通过的供应商由采购联系人以邮件形式发送标书要求。 响应文件递交时间:****年*月**日**点 响应文件递交地址:********西路**号**交通大学仲英楼材料学院 响应文件开启时间: ****年*月**日**点 响应文件开启地点:********西路**号**交通大学仲英楼材料学院
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