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SG2023006699001高真空电子束沉积系统竞价公告-CB106142023000099

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基本信息： 发布时间：****-**-** **:**:** 截止时间：****-**-** **:**:** 申购单号：***************** 申购主题：SG*************高真空电子束沉积系统 采购单位：****** 报价要求：国产含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算： 付款方式：货到验收合格后付款 备注说明： 签约时间：发布竞价结果后*天内签约合同 送货时间：合同签订后*天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址：**省/***/郫都区/ 申购明细： 采购内容 数量 单位 预算单价 品牌 型号 规格参数 质保及售后服务 SG*************高真空电子束沉积系统 * ****** 泰科诺 TEMD*** *、真腔室≥φ*** mm×H*** mm，立式圆柱形、前开门结构、腔室采用水冷套冷却，材质为优质 *** 不锈钢，所有焊缝连接采用氩弧自动焊接技术，内表面抛光，外表面进行电抛处理；腔室加热室温～***±*℃，PID 智能控温。 *、基片台*套 *.* 电机驱动旋转基片台，≥Φ***mm,插槽式，可装卡各种规格基片；转速 *～** 转/分钟可调； *.* 基片台水冷：**～**℃； *.* 不均匀性：≤±*%（基片台Φ***mm范围内）； *、电子束蒸发源 *.* 电子枪电源≥**kW，偏转角***°，*套； *.*电子枪气动挡板* 套。 *、电阻蒸发源 *.* 水冷铜电极*套，底部通水冷却，电极夹具高度可调。电极间有隔离板，防止相互污染； *.* 蒸发电源*台，功率≥* KW。低压大电流加热模式 *～**V，*～*** A 可调可控； *、膜厚控制系统： 提供一套进口膜厚监测系统，膜厚和速率分辨率≤±*.** Å ，需注明生产厂家、品牌型号和规格参数； *、真空系统 *.* 真空机组采用“复合分子泵+涡旋干泵+高真空阀门+数显复合真空计”高真空系统； *.* 极限真空：优于*×**-*Pa； *.* 分子泵抽速：≥**** L/S； *.* 涡旋干泵（进口）抽速：≥* L/S； *、水路系统 *.* 标准制冷量≥ *.** KW；温度 **～** ℃可控； *.* 冷却水总进水采用水压继电器控制，缺水报警； *、电气控制系统 *.* 采用PLC+工控机+液晶屏全自动控制系统，可实现一键式自动抽真空； *.*可实现工艺菜单编辑，真空度、温度、电源参数、镀膜时间等工艺参数的写入与修改； *.*自动储存设备运行的历史记录，可随时查看及拷贝； *.*可根据客户工艺操作习惯，定制操作界面布局、工艺数据及工艺数据曲线显示模式，扩展数据储存量等； *.* 安全保护报警系统：在缺水、水压过低、过流过压、断路等情况下的报警系统；完善的逻辑程序互锁保护系统； *、控制柜与机架 铝合金外框包装，腔室与电控为分体，底下配脚轮，方便移动、定位； **、辅助部件 配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机台，静音气泵各*台，所需试验蒸镀材料，保证设备就位后即能开展工作。 *. 乙方应对甲方提供完善及时的售后服务和技术支持。受理甲方要求，在*小时内做出响应，如须现场解决问题，**小时内到达现场。 *. 在仪器到货后，乙方工程师将按用户的时间安排进行仪器安装调试，并对使用人员进行现场技术培训，免收技术培训费。 *. 提供整机免费保修≥*年，自设备安装、调试完毕，综合验收测试合格的次日起为设备交付及质量保证期限的开始。 *. 负责向甲方提供最新的仪器应用和最新技术资料。 报价地址：https://www.easyjcx.com/#/index

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