洁净环境光电器件制备系统竞争性磋商公告

正文内容

一、项目名称：洁净环境光电器件制备系统 二、项目编号：S******* 三、采购人：****采购与招投标管理中心 地址：**省***东环路**号**楼***室 邮编：******　　　　　　　传真：****-******** 联系人：罗老师　　　　　　电话：****-******** 电子邮箱：*********** 技术联系人：刘老师　　　　电话：*********** 电子邮箱：*********** 四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求 洁净环境光电器件制备系统　　*套 （一）有机蒸发单元 *.真空腔室：尺寸不小于***mm×***mm×***mm（长×宽×高），前门开度尺寸不小于***mm×***mm（长×宽），与手套箱密封结合良好，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ**mm；后门铰链式活开门，方便打开维护检修；配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔体需预留有不少于*个未使用的真空法兰接口，用于后期功能扩展。 *.真空系统：主泵采用具有不低于****m*/h抽吸能力的高性能分子泵，前级泵采用不低于**m*/h抽吸能力的直联双级旋片泵，需配备旁抽。 *.真空极限：优于*.*×**-*Pa。 *.样品台：尺寸不小于***mm×***mm（长×宽）方片，配一体式全尺寸挡板，挡板需要磁流体密封；样品台掩膜结构根据客户要求定制设计；样品台需要设计旋转，转速不少于*-**转/分且可自行调整，磁流体密封。 *.蒸发源：不少于*组蒸发源，需包含金属蒸发源和有机蒸发源，各源均独立，金属蒸发源采用陶瓷绝缘结构，有机蒸发源采用陶封法兰金属密封结构，源间有隔板，源上有挡板。 *.蒸发电源：不少于*组蒸发电源，需包含金属用蒸发电源和有机用蒸发电源，金属用蒸发电源功率不小于*kW, 有机源用蒸发电源，最高加热温度不低于***℃。 *.膜厚监控：采用薄膜沉积控制仪在线控制蒸镀速率和膜厚，可同时数显*路探头输出，膜厚仪速率和厚度分辨率±*.***埃，速率显示精度*.**埃/秒；配置探头数量不少于*个。 *.操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效。 *.辅件配置：冷却循环水机*台，制冷量不小于***w，控温±*.*℃；静音气泵*台，额定压力*.*MPa，最大流量***L/min；所需试验蒸镀材料高纯铝颗粒，纯度**.***%。 （二）金属蒸发单元 *.真空腔室：尺寸不小于***mm×***mm×***mm（长×宽×高），前门开度尺寸不小于***mm×***mm（长×宽），与手套箱密封结合良好，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ**mm；后门铰链式活开门，方便打开维护检修；配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔体需预留有不少于*个未使用的真空法兰接口，用于后期功能扩展。 *.真空系统：主泵采用具有不低于****m*/h抽吸能力的高性能分子泵，前级泵采用不低于**m*/h抽吸能力的直联双级旋片泵，需配备旁抽。 *.真空极限：优于*.*×**-*Pa。 *.样品台：尺寸不小于***mm×***mm（长×宽）方片，配一体式全尺寸挡板，挡板需要磁流体密封；样品台掩膜结构根据客户要求定制设计；样品台需要设计旋转，转速不少于*-**转/分且可自行调整，磁流体密封。 *.蒸发源：不少于*组金属蒸发源，各源均独立，采用陶瓷绝缘结构，源间有隔板，源上有挡板。 *.蒸发电源：不少于*台蒸发电源，其中*台蒸发电源功率不小于*kW。 *.膜厚监控：采用薄膜沉积控制仪在线控制蒸镀速率和膜厚，可同时数显*路探头输出，膜厚仪速率和厚度分辨率±*.***埃，速率显示精度*.**埃/秒；配原装探头数量不少于*个。 *.操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效。 *.辅件配置：冷却循环水机*台，制冷量不小于****w，控温±*.*℃；静音气泵*台，额定压力*.*MPa，最大流量***L/min；所需试验蒸镀材料高纯铝颗粒，纯度**.***%。 （三）洁净净化单元 *.洁净环境箱体两套：总长度约*.*m，宽度和高度配合制备系统合理设计，***不锈钢材质。箱体底部配有支架，旋转脚轮，可微调水平，配有用于压力调节的脚踏板。 *.箱体配有大、小T型连接过渡舱和小过渡舱，两台箱体通过T型舱连接。大T型过渡舱直径≤***mm，长度≤***mm，小T型过渡舱直径≤***mm，长度≤***mm。小过渡舱直径≤***mm，长度≤***mm。为方便运输，大、小过渡舱与箱体的连接方式均为可拆卸式法兰连接，不得焊接于箱体侧板。 *.玻璃视窗采用实芯O型密封圈（真空密封方式）法兰视窗结构，达到无泄漏，实芯O型圈直径不超过*mm，密封槽为方形凹槽，实芯密封圈安装方式为嵌入密封槽内安装，密封支撑面及密封槽底平面度＜*.*mm/m。不接受单层或双层空芯密封圈粘贴在支撑面上的密封方式，需提供产品宣传册的玻璃视窗密封结构示意图。 *.手套口为铝合金材质，原色氧化，耐腐蚀。 *.循环风机两套：集成风机流量≥**m*/h，加装变频控制。 *.真空泵两台：抽速≥**m*/h，真空度可达*×**-*mbar，知名品牌，配装油雾过滤器。 *.气体净化系统两套：净化材料可再生，且再生过程通过PLC自动控制，具有自动除水除氧功能，可得气体纯度：水<*ppm，氧<*ppm。 *.气体控制阀：不锈钢电磁集成阀座，需提供产品宣传册的不锈钢集成阀座图片。 *.水分析仪两台：测量范围是*～***ppm，知名品牌，采用P*O*传感器，水探头可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，后续维护成本低。要求提供水分析仪生产厂家对该功能的证明文件。 **.氧分析仪两台：测量范围：*～****ppm，知名品牌，采用ZrO*传感器，可重复使用后续维护成本低。要求提供氧分析仪生产厂家对该功能的证明文件。 **.配置超净过滤系统。 **.温度控制系统：温度调节范围是**℃～**℃，与箱体集成，程序控制器根据设定值和实测温度值的比数决定机组的运行。当温度达到停机温度时，压缩机和冷凝风机会停止运作，而蒸发风机延时*秒钟后再停机。当机组处于停机状态时，蒸发风机会每停*分钟运行一次，以不断准确感测电控柜内的实际温度，直到启动压缩机。 **.快换有机溶剂吸附器，吸附柱尺寸直径≥***mm，高度≥***mm，***不锈钢材质，放置在箱体外，填充大量高效活性吸附材料，与主循环管道相联，能吸附大量有机气体。配有电气动角阀控制，吸附器可抽真空，显示真空度。能快速方便的更换吸附材料，并且不破坏箱内高纯气氛。 （四）质保期不少于*年。 五、评分标准 本次磋商采用综合评分法，总分为***分，具体内容如下： （一）技术参数、配置及整体综合性能分（**分） *．技术参数及配置（**分） 以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。 （*）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。 （*）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣*分。 *．综合性能情况（**分） （*）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（*分）。其中优于项，每处加*分。 （*）所提供产品的*场反馈情况（*分）。 根据所提供产品的品牌影响力、*场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。 （二）价格分（**分） *．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分**分。 *．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×**分。 （三）综合商务（**分） *．综合实力（*分） 根据供应商综合实力评定。 *．售后服务与培训情况等（**分） （*）质保期（*分）。符合磋商文件要求的，得*分，每增加一年质保期加*分。 （*）服务、技术支持与培训承诺情况（*分）。 根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。 *．其它优惠措施等（*分） 根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。 六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。 七、供应商资质要求 （一）具有独立承担民事责任的能力； （二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； （三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； （四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； （五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录； （六）本项目不接受联合体报价。 八、磋商响应文件的组成 （一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件*），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册： *. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。 *. 磋商响应函（原件）。 *. 响应基本情况一览表（原件）。 *. 详细配置清单（原件）。 *. 技术规格偏离表（原件）。 *. 公司简介（包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。 *. 资格证明材料 （*）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。 （*）法定代表人授权书（原件）。 （*）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。 （*）法人授权代表身份证明材料（授权代表投标需提供，如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。 （*）供应商最新的年度财务报表（复印件）。 （*）仪器设备生产或经营企业许可证（如有，复印件，特殊行业必须提供）。 （*）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第*.*条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。 （*）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（如有，例如：ISO、FDA、CE、*C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。 （*）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。 *. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。 *. 供应商认为应该提供的其他材料。 （二）特别说明 *. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。 *. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准； *. 相关材料及填写规范按照《****招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。 九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《****招标采购仪器设备投标人须知》第**条中的要求执行。 十、磋商文件价格：人民币***元（相关缴纳事宜详见附件*），售后不退。 十一、报名：供应商在报名前，须认真阅读《****招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在****年*月**日**:**前将报名函（格式见附件*）发送邮件至采购人处（***********）。 十二、递交磋商响应文件相关事宜： （一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用） *. 寄达时间：****年*月**日**:**前。 *. 收件人信息： 　收件人：罗老师 　联系方式：*********** 　收件地址：**省***东环路**号苏**校区**楼***室（采购与招投标管理中心） （二）现场递交方式 *. 递交时间：****年*月**日**：**～**：** *. 递交地点：**省***东环路**号****东校区东大门 十三、递交磋商文件截止时间：****年*月**日**:**。 十四、磋商时间：****年*月**日**:**。