光刻工艺服务竞价公告-CF105902024000591
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基本信息： 发布时间：****-**-** **:**:** 截止时间：****-**-** **:**:** 申购单号：***************** 申购主题：光刻工艺服务 采购单位：**** 报价要求：国产含税 发票类型：增值税专用发票 币种：人民币 预算： 付款方式：货到验收合格后付款 备注说明： 签约时间：发布竞价结果后*天内签约合同 送货时间：合同签订后*天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址：**省/***/***/ 申购明细： 采购内容 数量 单位 预算单价 品牌 型号 规格参数 质保及售后服务 光刻工艺服务 * ****** *. 需按照深大提供的GDS文件进行光刻工艺服务 *.需采用无掩膜紫外光刻机进行加工 *.工艺需求参数： a. 需采用*** LED光源对样品做光刻工艺，光刻速率需≥* mm*/min， b.等间距线宽≤* um，特征尺寸≤*** nm： c. 样品厚度：≥* mm，样品尺寸：≥*** mm d. 套刻精度≤ ***nm (*mm**mm) *.显影服务：根据图纸文件，对提供的样品进行显影，.MIF 显影液：*.**%TMAH； *.*D检测：显微镜下的光学检测，需清晰可见提供的光刻胶的厚度、陡直度以及*D形貌。 *.以上所有测试，供应商需提供工艺相关的技术文档、设计规则文件和技术服务。 按行业标准提供服务 报价地址：https://www.easyjcx.com/#/index
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