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SG2024002778001紫外光刻机竞价公告-CB106142024000057

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基本信息： 发布时间：****-**-** **:**:** 截止时间：****-**-** **:**:** 申购单号：***************** 申购主题：SG*************紫外光刻机 采购单位：****** 报价要求：国产含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算： 付款方式：货到验收合格后付款 备注说明： 签约时间：发布竞价结果后*天内签约合同 送货时间：合同签订后**天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址：**省/***/郫都区/ 申购明细： 采购内容 数量 单位 预算单价 品牌 型号 规格参数 质保及售后服务 SG*************紫外光刻机 * ****** 中国科学院光电技术研究所 URE-****/**ALD UV光源：进口LED模块（可以根据用户需求更换为汞灯光源） 曝光中心波长：***nm 光源平行性：*º ★曝光分辨率：*.*um-*um 曝光能量密度：>**mW/cm&sup*;可调 照度不均匀性：≤*.*%(∮***mm范围) 曝光面积：***mm****mm 光源寿命：*万小时 曝光设定：定时 曝光头工作模式：曝光位对准位自动切换（前后移动） 套准精度：±*.*-* um 间隙设定方式：数字设定曝光间隙，自动分离和消除间隙 样片、掩模版相对移动范围：X: ±*mm， Y: ±*mm， θ=±*º 掩模版找平方式：球气浮自动找平 可支持掩模版尺寸： *″×*″、*″×*″、*″×*″、*″×*″ 各一件 标配承片台 ： *英寸、*英寸、*英寸、*英寸 标准配件可兼容样片厚度：*.*-*mm，其他尺寸可定制 最大可设计工作厚度：**mm ★双目双视场对准显微镜或者光学镜头+CCD+显示器：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数***倍，光学+电子放大***倍，物镜三对：*倍、**倍、**倍，目镜三对：**倍、**倍、**倍 双物镜可调距离范围：**mm-***mm ★显微扫描范围：Y:±**mm（电动，数字设定） ★具备膜厚、形貌测量功能 光刻配套的光刻胶、显影液 设备尺寸：≤***mm（宽度） 按行业标准提供服务 报价地址：https://www.easyjcx.com/#/index

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