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磁控考夫曼离子束系统维护维修(ZXCG-JJ-240036)采购公告

正文内容

项目名称 磁控考夫曼离子束系统维护维修 项目编号 ZXCG-JJ-****** 公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 物理与能源学院 付款方式 货到验收合格付清全款 联系人 成交后在我参与的项目中查看 联系电话 成交后在我参与的项目中查看 签约时间要求 成交后**日内 到货时间要求 签约后**个工作日内 预算总价 ¥**,***.** + + 未公布 收货地址 ******物理与能源学院 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 公告说明 采购清单* 采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 磁控靠父母离子束系统维护维修 * 项 真空应用设备 无 无 品牌 品牌* 不限 型号 不限 品牌* 型号 品牌* 型号 预算单价 ¥**,***.** 技术参数及配置要求 *. 更换新磁控靶 * 台 预期效果:[每个磁控靶工作正常,无退磁无高温问题,磁控靶溅射均匀性优于±*%,溅射重复性优于±*%。] *. 水排改造 改造具体内容:[更换水排回流排,更换设备连接水管,清洗冷却水路] 预期效果:[每个磁控靶单独供水,解决磁控靶因为水温过高退磁的问题。] *. 更换电离规 电离规规格:[ZJ**] 更换必要性:[小磁控无法读取高真空数值,经检测为ZJ**电离规灯丝损坏,现场更换后故障解决] *. 更换磁控靶挡板 改造具体内容:[增加磁控靶挡板] 更换后影响:[可以完成多层镀膜的工艺切换。在进行复杂的多层镀膜过程中,增加的挡板可以方便地在不同靶材或镀膜模式之间进行切换,确保镀膜工艺的顺利进行。] *. 更换泵口充气电磁阀 挡板阀规格:[JDQ**-KF**] 更换理由:[电磁阀阀阀体老化,不能保证每一次都可以完全打开,导致真空系统抽气不稳定] *. 维修流量控制器 故障现象:[流量控制器不受控制,*mm气路充气阀损坏,无法关闭] *. 加热器更换及加热电源维修 故障现象:[大磁控样品无法加热] 维修效果:[加热温度室温至***度连续可调,控温精度±*.*度。] *. 增加一块钢瓶加压表 增加部位:[新增加一路工艺气体,现场有钢瓶但没有减压表。] *. 更换射频电源输出电缆 维修效果:[更换长度事宜的电缆,可以连接大磁控设备里面的所有磁控靶上。] **. 增加双路*KW磁控电源 增加原因:[原设备有一个过渡腔室一直闲置,通过这次维修,在这里面增加一个磁控靶及磁控电源,可以增加设备的利用率。] 维修效果:[增加后的磁控靶高度调节顺畅,无漏气漏水现象。样品加热功能正常,磁控电源工作正常。] **. 增加样品旋转滑环装置 增加原因:[原设备电线随着样品转动,导致法兰上的陶封电极经常受力,时间久后法兰上的陶封电极密封口处漏气。] 改造具体内容:[增加样品旋转滑环装置] **. 射频电源维修 故障现象:[射频电源无法正常启辉镀膜] 维修效果:[维修后电源启辉正常,自动匹配调谐正常,镀膜成膜正常。] 售后服务 服务年限:质保期三年; ****-**-** **:**:** 报价网址:https://cggl.fjnu.edu.cn/sfw_cms/epage=cms.index

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