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紫外光刻机竞价公告-CB105902024000875

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基本信息： 发布时间：****-**-** **:**:** 截止时间：****-**-** **:**:** 申购单号：***************** 申购主题：紫外光刻机 采购单位：**** 报价要求：国产含税 发票类型：增值税专用发票 币种：人民币 预算： 付款方式：货到验收合格后付款 备注说明：签订合同后 ** 天内到货。 签约时间： 送货时间：签订合同后 ** 天内到货。 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址：**省/***/***/ 申购明细： 采购内容 数量 单位 预算单价 品牌 型号 规格参数 质保及售后服务 紫外光刻机 * 中国科学院光电技术研究所 URE-****/**D *．技术参数  曝光面积：*英寸  曝光波长：***nm  分辨力：*.*mm-*mm  对准精度：±*mm  掩模样片整体工件台运动范围：X：**mm;Y:**mm  掩模尺寸： *英寸,向下兼容  样片尺寸：*英寸，向下兼容，支持碎片  厚度可适应*.*mm--*mm(最大可扩展为**mm)  曝光方式：定时（倒计时方式）  具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能  双目双视场对准显微镜：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数***倍，光学+电子放大***倍，物镜三对：*倍、**倍、**倍，目镜三对：**倍、**倍、**倍  调平接触压力通过传感器保证重复  数字设定对准间隙和曝光间隙  掩模相对于样片运动行程： X: ±*mm; Y: ±*mm; q: ±*º  最大焦厚：***mm（SU*胶，用户提供检测条件）  光源平行性：*.* º  曝光能量密度：>**mW/cm&sup*;  单层曝光一键完成  采用球气浮自动找平  照明不均匀性： £*.*%（ f***mm范围）；  具备压印模块接口，也具备接近模块接口  曝光光源：***W汞灯； *．外形尺寸：约****mm（长）***mm(宽) ****mm（高） *．配置 设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。 *.* 曝光系统  冷光椭球镜  ***W进口直流高压汞灯(进口)  XYZ汞灯调节台  冷却风扇 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜*、准直镜镜*、蝇眼透镜组（**个透镜）、i线滤光片、场镜*、冷光反射镜*、反射镜* *.* 对准工件台系统  掩模样片整体运动台  掩模样片相对运动台  转动台  样片调平机构,自动完成  基片抽拉式上下机构  样片调焦机构，电机自动调  承片台*个：f**mm 、*英寸、*英寸、*英寸 掩模夹*个：*.*英寸、*英寸、*英寸、*英寸 *.* 电控系统  光源、 电源  双目双视场对准显微镜主体  目镜*对（**倍、**倍、**倍，共*个）  物镜*对（*倍、**倍、**倍，共*个） CCD对准系统，**寸液晶显示器 *.* 气动控制系统及辅助配套设备 *.** 电控系统  单片机控制系统；  紫外LED电源模块；  控制柜桌 *.** 气动系统  气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等  电磁阀驱动  气动仪表 *.** 真空泵 ** 空压机** *、验收合格之日起，免费质保*年，终身维护。 *、质保期内*小时响应，**小时到达现场维修，质保期外**小时响应，终身维护。 *、售后服务*个工作日发现质量问题包换新或者退货。 *、原厂技术人员送货上门安装培训，当面验收，拒绝快递。 报价地址：https://www.easyjcx.com/#/index

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