等离子去胶机采购公告
正文内容
【采购公告】 等离子去胶机 报名开始时间 ****-**-** **:**:** 报名结束时间 ****-**-** **:**:** * * 我要报名 项目信息 项目编号： ************ 项目名称： 等离子去胶机 采购方式： 公开询价 邀请询价 竞争性谈判 竞争性磋商 单一来源采购 项目比选 商品比选 评审办法： 有效最低价 综合评估法 项目类型： 科研仪器 预算金额： ******.**元 采购人信息 采购单位: 联系人: 电话: 地址: 邮箱: 商品信息 序号 商品信息 数量 计量单位 预算单价 预算总额 商品参数 商品备注 * 等离子去胶机 品牌：无 货号/型号：无 规格：台 * 台 ******.**元 ******.**元 * *、产品尺寸≤***mm(长)****mm(宽)*****mm(高); *、离子体发生器采用IGBT模块，自有过流，过载安全保护； * *、真空腔体尺寸≥L****W****H***mm; *、使用平板气浴电极; * *、样品处理面积≥***mm（长）****mm（宽）; *、功率可调范围:*-****W连续可调； * *、气体控制:至少*路气体，MFC质量流量计（范围≥*-***mL）; ★*、适用于多通道微流控检测芯片的制备，可一次装载**片*寸晶圆； ★*、控制系统使用触摸屏+PLC控制，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储、系统维护等多种功能； * **、真空泵抽速大于等于*L/S，极限真空≥*.*Pa。 内容公告 附件信息 附件：_*-* 采购项目技术参数及配置要求表.pdf 附件：采购公告.pdf 报价网址：https://sso.casmart.com.cn/login
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