反应离子刻蚀机
正文内容
项目名称 反应离子刻蚀机 项目编号 XJD************* 公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 **交通大学 付款方式 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 签约时间要求 发布竞价结果后*天内签订合同 到货时间要求 发布竞价结果后*天内送达 预算总价 ***** 币种 人民币 收货地址 **省********** 供应商资质要求 无 采购清单 * 采购商品 采购数量 计量单位 附件 反应离子刻蚀机 *.** 无 品牌 创世威纳 型号 无 预算单价 ***** 规格参数 *、主要功能 设备刻蚀材料广泛，包括并不限于单晶硅、非晶硅、多晶硅、SiO*、Si*N*、TaN、Ta、Ti、W、Mo、聚合物等。 *、主要技术指标 *.*腔体尺寸：Φ***mm*H***mm，经氧化处理的铝质桶形卧式结构，上盖自动开闭。 *.*极限真空度：≤*.*×**-*Pa； *.*刻蚀室系统漏率：*×**-*Pa.l/s； *.*刻蚀室静态升压：系统停泵关机后**小时后，真空度≤*Pa *.*系统充干燥N*解除真空，短时暴露大气后抽气抽至*×**-*Pa时间小于**min。 *.*射频阴极尺寸：Φ***mm。 *.*刻蚀均匀性：≤±*%（Φ*英寸） *.*主要工艺气体配置：SF*、CHF*、CF*、O*、Ar、N*（视具体刻蚀工艺） *.*电源配置：**.**MHz，***W，自动匹配 *.**自动压力控制系统：包含。 *.**刻蚀距离自动调节范围：**mm-***mm，调节精度：*mm *.**水冷工作台温度：-**℃～室温 *.**控制方式：基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式，包含安全报警系统。 *、主要配置 *.*耐氟基气体腐蚀的真空刻蚀腔体，一体化机架、辅助设施，*套 *.*复合分子泵，抽速***L/s，*台 *.*机械泵，抽速*L/，*台 *.*超高真空电动调节插板阀*台 *.*真空测量系统，一高两低，*套 *.*自动压力控制系统，含薄膜规，*套 *.*射频电源及自动匹配器：***W，*套 *.*质量流量控制器：*台 *.*工艺气路：*条 *.*静音空气压缩机*台 *.**冷却循环水机*台 *.**工作台冷却水机*台 售后服务 按行业标准提供服务，质保期**个月。 报价地址：https://www.ejingcai.com.cn/site
相关推荐
-
哈电储能技术创新产业基地项目招标公告[ZJS202212854008001]
镇江市 2024-09-20 招标公告 -
青航培训中心车辆租赁服务采购项目采购信息公示公告
青岛市 2024-09-20 招标公告 -
NAS文件传输系统、NAS安全性增强系统采购项目采购公告
朝阳区 2024-09-20 招标公告 -
医药制造公共服务平台标准厂房建设项目(南片区)招标公告[A3212851886000014004001]
高港区 2024-09-20 招标公告 -
北华大学校医院污水处理系统工艺升级改造及运行维护项目二次竞争性磋商公告竞争性磋商
丰满区 2024-09-19 招标公告