湿法刻蚀机竞价公告-CB108562024000153
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申购主题:湿法刻蚀机 报价要求:国产含税 发票类型:增值税专用发票 付款方式:货到验收合格后付款 送货时间:合同签订后**天内送达 安装要求:免费上门安装(含材料费) 预算:***,***.**** 人民币 收货地址:***/***/***/ 供应商资质: 备注说明: 序号设备名称数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件 * 湿法刻蚀机 *(台)******不指定不指定 *.需要兼容*英寸硅衬底以上晶圆的TSV,RDL,Pillar,MEMS工艺刻蚀; *.能配合完成离子束刻蚀(IBE),深硅刻蚀(DRIE),反应离子刻蚀(RIE),聚焦离子束刻蚀(FIB)。 *.能完成Si和金属Cu的湿法刻蚀,并提供刻蚀药水供应; *.需配备*个湿法刻蚀槽和*个QDR快速清洗槽; *.能提供独立的etch循环槽体(外槽溢流,内槽进液)和QDR循环槽体(外槽溢流,内槽进液)。 *.进口隔膜泵需选取Whiteknight,graco,yamada三家之一。 *.介质刻蚀均匀性<*%、金属刻蚀均匀性<*%、颗粒控制≤** ea; *.可适用多种药液如H*SO*、HF、HNO*、H*PO*等; *.工艺腔体需经过优化设计,提供优秀的洁净度和气密性控制; **.需为本单位提供机器操作培训,设备最长可以在交付之后一年内启动使用,启用之后一年的整机质保,质保期内需提供免费上门维修服务。 **. ****年**月**日之前完成交货验收。 设备最长可以在交付后一年内启动使用,启用之后一年的整机质保,质保期内需提供免费上门维修服务。 报价网址:https://www.easyjcx.com/#/purchase/detail/a*aa****-**b*-***b-****-bcf****e**f*
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