高真空磁控溅射镀膜设备

长安区招标公告 2024-10-11

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项目名称高真空磁控溅射镀膜设备项目编号 XJD************* 公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 **交通大学付款方式货到安装、调试、验收合格后，付全款。签约时间要求发布竞价结果后*天内签订合同到货时间要求合同签订后**天内送达预算总价 ***** 币种人民币收货地址 **省********** 供应商资质要求无采购清单 * 采购商品采购数量计量单位附件高真空磁控溅射镀膜设备 *.** 套无品牌微纳真空型号 VJC-*** 预算单价 ***** 规格参数规格参数信息尽量详细： *) 真空腔室：***不锈钢，L×W×H：***×***×***mm（精确尺寸以设计为准）；前后双开门，真空室内表面抛光至镜面，配一套防污镜面隔板； *) 真空系统：复合分子泵（抽速：***L/s）+直联旋片泵（抽速：*L/s）组成的大抽速、准无油真空系统，超高真空电动闸板阀；全量程数显复合真空计； *) 真空极限：≤*.*×**-*Pa（*.*×**-*Torr）； *) 抽速：从大气抽至**-*Pa≤**min； *) 基片台：抽屉式结构，最大可镀*英寸（Φ***mm）*片或者均布其它规格小片；基片台旋转，转速*～**rpm连续可调，光控定位；基片台衬底加热：室温～***℃可调可控；基片台负偏压：-***V； *) 溅射靶：*只*inch圆形平面靶，可单靶轮流/多靶聚焦共溅射； *) 溅射电源：*台****VA直流溅射电源；*台***VA射频电源，频率**.**MHz，自动匹配； *) 速率和膜厚监控：采用膜厚监控仪，镀膜过程中实时监测溅射速率，监控膜厚；厚度监测范围*Å～****Å，分辨率*Å；速率监测范围*.*Å～****.*Å/s，分辨率*.*Å； *) 气路系统：三路工艺气体MFC控制，量程范围为*～**SCCM\*～**SCCM\*～**SCCM； **) 水冷系统：水冷部件有分子泵、溅射靶及旋转密封磁流体；配高精度冷却循环水机*台； **) 控制方式：采用PLC+触摸屏控制； **) 报警及保护：对分子泵、溅射靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护。售后服务 *) 产品质保期为*年；质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）。 *) 本公司在接到故障通知*小时内给予解答；对于设备故障，公司在接到故障通知后**小时内到达现场。报价地址：https://www.ejingcai.com.cn/site

高真空磁控溅射镀膜设备

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