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国家储能平台PECVD系统

正文内容

项目名称 国家储能平台PECVD系统 项目编号 XJD************* 公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 **交通大学 付款方式 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 签约时间要求 发布竞价结果后*天内签订合同 到货时间要求 合同签订后*天内送达 预算总价 ***** 币种 人民币 收货地址 **省********** 供应商资质要求 无 采购清单 * 采购商品 采购数量 计量单位 附件 国家储能平台PECVD系统 *.** 套 无 品牌 科晶 型号 OTF-****X-II-**-*CLV-PE(UL) 预算单价 ***** 规格参数 *.加热装置 最高使用温度:****度(≤**min) 含*个长度***mm+***mm独立温区 独立程序控温系统；管径**mm. *.额定功率:*KW 最高使用温度:****度(≤**min)； *.工作温度:****度,升温速率:≦** 度/min *.加热元件:电阻丝(掺钼铁铬铝合金）； *.仪表智能化**段可编程控制,恒温控温精度:±*℃； *.等离子射频系统 输出功率:*-***W±*% 射频频率:**.**MHz±*.***% 射频接口:**Ω,N-type *.真空系统:真空计 连接装置 带滑轮 双层立式油雾过滤装置 智能控制系统；极限真空度： *.****-*Pa；抽气速率：*L/S 壳体尺寸: ***mm(L)x***mm(W)x***mm (H) *.供气系统：三个防腐气路 数字显示，PLC触摸屏控制。质量流量控制 三路MFC范围:*** \***\ ***\****sccm可选。精度+*.*%FS。 *.订制专用石英管道 样品架 含冷却装置 售后服务 *.为提升服务品质和后期功能扩充，参与竞价的必须提供针对本项目原生产商签署的授权书及售后服务承诺书。 *.交货期：**天内供货安装调试到位，包含气路电路连接，设备调试等等。 *. 质保期：货到安装验收合格后至少*年。 报价地址：https://www.ejingcai.com.cn/site

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