中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所投影式光刻机采购项目（第二次）公开招标公告

正文内容

项目概况 *******纳米技术与纳米仿生研究所投影式光刻机采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com；********街*号互联网金融中心**层获取招标文件，并于****年**月**日 **点**分（**时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：OITC-G********* 项目名称：*******纳米技术与纳米仿生研究所投影式光刻机采购项目 预算金额：****.****** 万元（人民币） 最高限价（如有）：****.****** 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 （套） 简要要求 是否允许采购进口产品 最高限价 * 投影式光刻机 * 该机用于集成电路生产中的微光刻工艺。是用来将掩膜版上形成的集成电路图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复投影成像在晶圆表面上。该机具备Inline（联机）自动涂胶显影单元功能和配置。 该机含有涂胶显影单元、晶圆自动传输系统、版库自动管理系统、可编程掩膜版光栏、自动调焦调平、晶圆自动对准、掩膜版自动对准、镜头倍率控制、自动光量控制、图形自动优化设计计算、故障显示报警等先进功能。 将曝光掩膜版和晶圆分别装入掩膜版库和晶圆传输单元后，扫描式光刻机将按照操作软件设定的数据格式、工作时序自动完成包括掩膜版、晶圆的交换、自动对准、自动调焦、自动分步曝光在内的工作过程。 是 ****万元 合同履行期限：合同签订后*个月内 本项目(不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： *.满足《中华人民**国政府采购法》第二十二条规定； *.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目 *.本项目的特定资格要求：*） 投标人须符合《中华人民**国政府采购法》第二十二条的规定；（具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。）；*） 投标人须在中华人民**国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可（进口产品投标必须委托国内代理商投标）；*） 投标人按照招标公告要求购买了招标文件；*） 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商；*） 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；*） 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；*） 本项目不接受联合体投标。*） 投标商或者其制造商须具备两个符合要求的***nm或更高分辨率的DUV光刻机整体系统的成功案例，且案例必须同时满足以下要求:(一)已通过最终用户验收并正式投入使用，并能提供目前仍在运行使用的实景视频（U盘或者光盘），同时提供以上系统详细地址，拍摄时间需为购买标书至投标截止时间之前的时间；(二) 每个案例须包含完整信息：设备参数、以及品牌（与本项目所投相同品牌）、以及规格型号及制造商；以及采购方信息（必须全部包含）：单位全称、设备所在地；联系人信息：姓名及有效联系方式。必须随投标文件同时提供以下证明材料：*) 设备采购合同关键页（文件复印件并加盖公章）; *) 上述合同各付款环节的发票（复印件并加盖公章）;*) 最终用户签署的验收报告（复印件并含用户单位公章（鲜章））。（三）按最终整体系统完成的产地认定本项目产品属性，即整体系统最终全部进口交货的为进口产品；如果整体系统最终在国内制造或者组装交货的为国产产品；*）投标商或者其制造厂家需具备整体系统的组装和维修能力。 三、获取招标文件 时间：****年**月**日 至****年**月**日，每天上午*:**至**:**，下午**:**至**:**。（**时间，法定节假日除外） 地点：www.oitccas.com；********街*号互联网金融中心**层 方式：登录“**招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买 售价：￥***.* 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：****年**月**日 **点**分（**时间） 开标时间：****年**月**日 **点**分（**时间） 地点：*******纳米技术与纳米仿生研究所D****会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起*个工作日。 六、其他补充事宜 *、投标文件递交地点：*******纳米技术与纳米仿生研究所D****会议室 *、招标文件采用网上电子发售购买方式： *）登陆“**招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.htmlpage=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币*** 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 *）投标人可以电汇的形式支付标书款和投标保证金（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：************ 开户行：招商银行**西三环支行 账 号：*************** *）投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 *）以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 *、采购项目需要落实的政府采购政策： （*）政府采购促进中小企业发展 （*）政府采购支持监狱企业发展 （*）政府采购促进残疾人就业 （*）政府采购鼓励采购节能环保产品 （*）扶持不发达地区和少数民族地区 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 *.采购人信息 名 称：*******纳米技术与纳米仿生研究所　　　　　 地址：**工业园区若水路***号　　　　　　　　 联系方式：俞老师、赵老师；****-******** 　　　　　　 *.采购代理机构信息 名 称：************　　　　　　　　　　　　 地　址：********街*号互联网金融中心**层　　　　　　　　　　　　 联系方式：郭宇涵、王军、李雯、余睿； ***-********， ***-********　　　　　　　　　　　　 *.项目联系方式 项目联系人：郭宇涵、王军、李雯、余睿 电　话：　　***-******** 　 查看