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电子束曝光系统高压箱更换（清采比选20250630号）采购公告

正文内容

采购项目名称 电子束曝光系统高压箱更换 采购项目编号 清采比选********号 公告开始时间 ****-**-** **:**:** 公告截止时间 ****-**-** **:**:** 对外联系人 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 联系电话 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 签约时间要求 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) 交货时间要求 签订合同后*个工作日内 采购单位 **** 最高限价 ￥***,***.** 未公布 国内合同付款方式 服务期满***% 交货地址 ****物理楼B*** 供应商特殊资质要求 无 采购清单* 物资名称 采购数量 计量单位 电子束曝光系统高压箱更换 * 项 品牌 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 单价 ￥***,***.** 技术参数及配置要求 需更换的高压箱型号：HV unit EBM**N*/*** 高压箱 一台 服务内容包含拆开SEM机箱，拆卸旧高压箱并更换新高压箱，检验更换完成后能正常控制电子束的关闭与开启 验收要求：更换完毕后将SEM机箱装回原样，并且检查更换高压箱后能正常控制电子束的关闭与开启 质保期 **** ****-**-** **:**:** 报价地址：http://sbgysfw.sysc.tsinghua.edu.cn/login.html

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