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射频电源终止公告

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项目名称 射频电源 项目编号 SUSTech-JC-****-***** 项目类型 货物类 成交方式 最低价成交 采购方式 公开竞采 终止理由 请严格按照项目终止呈批办理 公告发布时间 ****-**-** **:**:** 预算(元) ******.** 项目预算是否含税 国产含税 备注 采 购 明 细 序号 名称 数量 单位 * 射频电源（核心货物） * 套 是否接受进口 拒绝进口 品牌 无推荐品牌 型号 无推荐型号 技术规格及参数 *.*电压范围：***VAC±**％，*线，带地线（PE）； *.*频率范围：**Hz~**Hz； *.*输入电流：*.*A； *.*浪涌电流：冷启动**A； *.*功率因数：PF≥*.**（最大功率输出时）； *.*效率：≥**％（输出功率大于***W，并且负载为标准**欧时）； *.*输出频率：**.**MHz±**ppm； *.*功率：最小功率*W，最大功率***W，连续可调； *.*最大反射功率：***W,如果反射功率大于***W，射频电源会降低输出，保持发射不大于***W； 配套附件： *、真空腔室：尺寸φ***×H***mm,材质SUS***优质不锈钢，圆柱形、前开门结构。（*件） *、基片台：尺寸φ***mm，可*～**转/分钟旋转，可加热至***℃，可调可控，基片台带有绝缘设计，可加负偏压，带气动挡板。（*件） *、溅射靶：*套*英寸永磁靶，靶角度、靶基距免拆卸手动可调，带独立气动挡板。 *、真空系统：采用复合分子泵（****L/S）+直联高速旋片式真空泵(*L/S)+高真空阀门+数显复合真空计。（*件） *、气路：Ar，***sccm；N*，**sccm；O*，**sccm。（*件） *、水路气体：配制冷量*.**KW冷水机（*件）；配最大排气量***L/min空压机（*件）。 *、自动恒压系统，薄膜规+电机驱动控制阀+控制软件闭环自动控制；保持镀膜时工艺压力稳定。（*件） *、电气控制：PLC+触摸屏半自动控制系统。（*件） *、机架：机架和控制柜一体化设计，碳钢制作，表面喷塑处理，配脚轮。（*件） **、靶材：铂**.**%，φ**.*×*mm，*块；铜，φ**.*×*mm，*块；镍**.***%，φ**.*×*mm，*块；铬**.**% ，φ**.*×*mm，*块；镍铬合金（镍**:铬**），φ**.***mm，*块。 质保期 *.产品质保*年，质保期内维修免费（人为损坏因素除外），质保期以外设备的维护，只收取成本费。 *.为保证售后服务质量，设备必须提供制造厂家授权文件和售后服务承诺 *.所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件） 售后要求 **小时内响应客户，重大问题**小时内到达现场 付款方式 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**%作为进度款；设备到达指**装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的**%。 交货期 合同签订后**天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前*天（自然日）通知送货 报价网址：http://jc.biddingoffice.sustech.edu.cn

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