深硅刻蚀机-变更公告
正文内容
项目名称:深硅刻蚀机 招标人:淮海工业集团有限公司 招标编号:****-********A*** 本项目第五章招标公告*.*设备技术要求*)“硅-玻璃键合片静电吸附良好,氨气压力**Torr时,氨气流量≤*sccm” 变更为:“硅-玻璃键合片静电吸附良好,氦气压力**Torr时,氦气流量≤*sccm”。 本项目第八章货物需求一览表及技术规格二、主要技术参数:**) “硅-玻璃键合片静电吸附良好,氨气压力**Torr时,氨气流量≤*sccm” 变更为:**) “硅-玻璃键合片静电吸附良好,氦气压力**Torr时,氦气流量≤*sccm”。 特此公告 ***************** ****年**月**日 ***************************
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