关于微纳加工中心工艺设备安装配套系统的更正公告

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关于微纳加工中心工艺设备安装配套系统的更正公告 一、项目基本情况 采购项目编号：SZDL********** 采购项目名称：微纳加工中心工艺设备安装配套系统 首次公告日期：****年**月**日 二、更正信息 *、更正事项：“招标文件”的第二章招标项目需求： 五、具体技术要求： 序号 货物名称 配置和技术规格要求 ** DRIE安装配套系统 **.**.▲投标人在投标时提供DRIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、C*F*管道平面布置图、CHF*管道平面布置图、He管道平面布置图、SF*管道平面布置图、SiF*管道平面布置图。 ** RIE安装配套系统 **.*.▲投标人在投标时提供RIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF*管道平面布置图、CHF*管道平面布置图、He管道平面布置图、SF*管道平面布置图。 ** ICP介质安装配套系统 **.*.▲投标人在投标时提供ICP介质安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF*管道平面布置图、C*F*管道平面布置图、CHF*管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF*管道平面布置图、Cl*管道平面布置图。 ** ICP金属安装配套系统 **.**.▲投标人在投标时提供ICP金属安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF*管道平面布置图、CHF*管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF*管道平面布置图、Cl*管道平面布置图、BCl*管道平面布置图。 ** ICPIII-V安装配套系统 **.*.▲投标人在投标时提供ICPIII-V安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、CH*管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF*管道平面布置图、H*管道平面布置图、Cl*管道平面布置图、BCl*管道平面布置图、SiCl*管道平面布置图。 ** ICPCVD 安装配套系统 **.*.▲投标人在投标时提供ICPIII-V安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH*管道平面布置图、SiH*管道平面布置图、CH*管道平面布置图、CF*管道平面布置图、He管道平面布置图、H*管道平面布置图。 ** PECVD 安装配套系统 **.* ▲提供PECVD安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH*管道平面布置图、SiH*管道平面布置图、N*O管道平面布置图、CF*管道平面布置图。 ** 气体管道安装测试要求 **.*★投标人在投标时，须提供加盖公司公章的气体管道测试承诺函，承诺管道安装完成后按招标人要求进行五项测试，包括压力测试、氦气检漏测试、颗粒测试、水分测试、氧分测试。测试项目标准如下： *)压力测试：强度试验压力为设计压力的*.**倍，持续**分钟；气密性试验压力为设计压力的*.**倍，**小时内压降≤*%。 *)氦气检漏测试：使用质谱型氦检测仪，精度≥*×**-**mbar.L/s；漏率≤*×**-*mbar·L/s。 *)颗粒测试：颗粒数：≥*.*~*.*μm的颗粒≤**颗粒/m&sup*;，连续三次达标。‌ *)水分测试：测试气源水分<*ppbv；水分增量<**ppbv，稳定**分钟以上。 *)氧分测试：测试气源氧分<*ppbv；氧分增量<**ppbv，稳定**分钟以上。 更正为： 五、具体技术要求： 序号 货物名称 配置和技术规格要求 ** DRIE安装配套系统 **.**.▲投标人在投标时提供DRIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、C*F*管道平面布置图、CHF*管道平面布置图、He管道平面布置图、SF*管道平面布置图、SiF*管道平面布置图。 ** RIE安装配套系统 ▲投标人在投标时提供RIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF*管道平面布置图、CHF*管道平面布置图、He管道平面布置图、SF*管道平面布置图。 ** ICP介质安装配套系统 ▲投标人在投标时提供ICP介质安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF*管道平面布置图、C*F*管道平面布置图、CHF*管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF*管道平面布置图、Cl*管道平面布置图。 ** ICP金属安装配套系统 ▲投标人在投标时提供ICP金属安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF*管道平面布置图、CHF*管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF*管道平面布置图、Cl*管道平面布置图、BCl*管道平面布置图。 ** ICPIII-V安装配套系统 **.*.▲投标人在投标时提供ICPIII-V安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、CH*管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF*管道平面布置图、H*管道平面布置图、Cl*管道平面布置图、BCl*管道平面布置图、SiCl*管道平面布置图。 ** ICPCVD 安装配套系统 **.*.▲投标人在投标时提供ICPCVD安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH*管道平面布置图、SiH*管道平面布置图、CH*管道平面布置图、CF*管道平面布置图、He管道平面布置图、H*管道平面布置图。 ** PECVD 安装配套系统 **.* ▲提供PECVD安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH*管道平面布置图、SiH*管道平面布置图、N*O管道平面布置图、CF*管道平面布置图。 ** 气体管道安装测试要求 **.*★投标人在投标时，须提供加盖公司公章的气体管道测试承诺函，承诺管道安装完成后按招标人要求进行五项测试，包括压力测试、氦气检漏测试、颗粒测试、水分测试、氧分测试。测试项目标准如下： *)压力测试：强度试验压力为设计压力的*.**倍，持续**分钟；气密性试验压力为设计压力的*.**倍，**小时内压降≤*%。 *)氦气检漏测试：使用质谱型氦检测仪，精度≥*×**-**mbar.L/s；漏率≤*×**-*mbar·L/s。 *)颗粒测试：颗粒数：*.*~*.*μm的颗粒≤**颗/m&sup*;，连续三次达标。‌ *)水分测试：测试气源水分<*ppbv；水分增量<**ppbv，稳定**分钟以上。 **)氧分测试：测试气源氧分<*ppbv；氧分增量<**ppbv，稳定**分钟以上。 更正日期：****年**月**日 三、其他补充事宜 采购文件中如有涉及上述内容的作相应调整，若本公告与原采购文件内容有不同之处，应以本公告为准。投标人有义务在采购活动期间浏览相关网站，在网上公布的与本次采购项目有关的信息视为已送达各投标人。 四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。 *.采购人信息 名称：**技术大学 地址：***坪山区兰田路****号 联系方式：****-******** *.采购代理机构 名称：*************** 地址：******彩田南路中深花园A座****A室 联系方式：****-******** *.项目联系方式 项目联系人：余工 电话：****-******** 转*** *************** ****年**月**日 附件： 查看 查看 查看 查看