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深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开

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**大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开 采购单位: **大学 项目名称: 玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统 预算金额（元）: *,***,***.*** 采购品目: 电子工业生产设备 采购需求概况: 板级自动旋转式清洗机能够针对大尺寸非圆基板进行清洗，主要对基板表面非有机物颗粒进行清洗去除，达到工艺需求。相比传统基板级清洗设备，该设备能够兼容更大尺寸（***mm×***mm尺寸基板）。多腔全自动匀胶显影机使用于*/*寸晶圆，适配Si、Glass的材质，适应*mm以下翘曲晶圆或超薄晶圆传送和涂胶显影工艺。 预计采购时间: ****-* 联系人: 党老师 联系电话: *********** 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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