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浙江大学2025年3月政府采购意向-电子束蒸发镀膜系统

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电子束蒸发镀膜系统 项目所在采购意向： ********年*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 电子束蒸发镀膜系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他金属加工设备 采购需求概况 ： 电子束蒸发镀膜系统主要用于金属材料表面镀膜。利用电子枪生成高能电子束，然后电子束撞击目标材料，将其加热到蒸发温度。蒸发的材料原子或分子在真空中飞行到基板表面，冷凝形成薄膜。 电子束蒸发镀膜系统具有以下技术特点： *.与其他低成本的 PVD 工艺相比，电子束蒸发具有非常高的材料利用效率。*.电子束系统仅加热目标源材料，而不是整个坩埚，从而降低了坩埚的污染程度。*.通过将能量集中在目标而不是整个真空室上，它有助于减少对基板造成热损坏的可能性。广泛适用于航空航天、工业和医疗等领域。 主要技术指标包含：*. 真空检漏率小于等于*.****-*PA.*/s *. 真空度：**^-*到**^-*托 *.可加工*英寸样品及以下尺寸整片或碎片，厚度不限。 *. *英寸面内镀膜厚度均匀性优于±*%。 *.可进行高深宽比镀膜工艺和剥离（Lift-off）工艺。 *.可进行各种材料（金属、合金、化合物）的蒸镀工艺。 *.抽气速率，工艺室从大气抽到 *E-*Pa 的时间少于 ** 分钟。 *.镀膜批次间重复性优于±*%。 预计采购时间： ****-** 备注： 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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