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中国科学技术大学2025年4至12月政府采购意向-多腔体电子束镀膜机

正文内容

多腔体电子束镀膜机 项目所在采购意向： ************年*至**月政府采购意向 采购单位： ******** 采购项目名称： 多腔体电子束镀膜机 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他仪器仪表 采购需求概况 ： *、沉积腔的极限真空达到*e-*torr或更高；*、沉积薄膜批内和批间的均匀性达到±*%@*英寸或更优；*、三腔体结构：loadlock、镀膜、刻蚀腔；*、配备刻蚀等离子源及腔体，刻蚀均匀性±*%；*、支持*英寸基片蒸镀，采用低温镀膜技术 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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