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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年4至5月政府采购意向-光学薄膜蒸发系统

正文内容

光学薄膜蒸发系统 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 光学薄膜蒸发系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********-设备_A********-电工、电子生产设备_A********-电子工业生产设备 采购需求概况 ： 光学薄膜蒸发系统，设备需支持多层膜系设计，兼容多种镀膜材料（如Si、Ge、SiO*、TiO*、Ta*O*、Al*O*等）。镀膜均匀性：≤±*%；膜层厚度控制精度：≤±*.*nm（需支持实时监控系统）；真空度：≤*×**-*Pa（极限真空度）；镀膜速率：根据工艺需求可调（如*.*-**nm/s）；自动化程度：配备自动翻转系统、膜厚监控软件及工艺参数数据库；带离子源，配备光控模块，*寸向下兼容。以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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