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量子器件与芯片加工中心洁净实验室改造工程项目

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招标计划信息 招标项目名称： 量子器件与芯片加工中心洁净实验室改造工程项目 标段名称： 量子器件与芯片加工中心洁净实验室改造工程项目 建设单位： **国际量子研究院 拟备案主管部门： ***住房和建设局 项目类型： 施工 招标估价（万元) **** 招标方式： 公开招标 是否采用BIM评审方式招标： 否 预计招标时间： ****-**-**至****-**-** 预计项目概况： **国际量子研究院根据建设目标，拟规划建设"量子器件与芯片加工中心”，打造具有国际一流水平的量子芯片和高性能量子器件研发及中试工艺线。规划建设面积****平米，包括百级区面积***平方米，千级区****平方米，配套辅助空间****平方米，满足包括清洗、光刻、刻蚀、镀膜、封装、检测等工艺环节使用，以及配电间、特气站、液氮塔、普气间、空压机间、纯水间、生产监控室、排烟机房、生产监控、库房、空调机组、尾气处理等辅助设施。

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