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深圳先进电子材料国际创新研究院科研仪器设备一批意向公开

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**先进电子材料国际创新研究院科研仪器设备一批意向公开 采购单位: **先进电子材料国际创新研究院 项目名称: 科研仪器设备一批 预算金额（元）: *,***,***.*** 采购品目: 其他仪器仪表 采购需求概况: *.磨氧化物抛光液供应设备--给研磨设备供应和分配氧化物抛光液。 *.磨硅抛光液供应设备--给研磨设备供应和分配硅抛光液。 *.磨铜抛光液供应设备--给研磨设备供应和分配金属抛光液。 *.清洗液供应设备--给研磨设备供应和分配清洗药液。 *.TEOS供应设备--给气相沉积供应和分配TEOS（正硅酸乙酯）气体。 *.TMS供应设备--给气相沉积供应和分配TMS（四甲基硅烷）气体。 预计采购时间: ****-* 联系人: 姬老师 联系电话: ****-******** 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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