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上海大学2024年01月政府采购意向

正文内容

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将**大学****年*月采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额（元） 预计采购时间（填写到月） 备注 * 原位高分辨显微共焦拉曼光谱仪 利用原位高分辨显微共焦拉曼光谱仪的拉曼散射光谱和光致发光光谱，可以实现对先进光刻系统中光刻衬底和光学元件表面的材料和成分分析，并进行原位无损在线识别，为光刻材料的反应原理、设计及优化，以及光刻系统内的污染控制，提供重要指导和参考。主要技术指标参数： - 光谱分辨率：可见全谱段 ≤ *.** cm-*；近红外全谱段 ≤ *.** cm-* - 灵敏度：硅三阶峰的信噪比好于**:*，并能观察到四阶峰 - 光谱重复性：优于±*.**cm-*。 - 光谱范围：***nm 到****nm，全光谱范围内可快速连续扫描，无接谱。 - 光栅：采用大尺寸光栅**mm×**mm，配置***刻线、***刻线和****刻线。 *******.** ****-** 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 **大学 /

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