中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向

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投影式光刻机 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 投影式光刻机 预算金额： ****.******万元(人民币) 采购品目： A********电子工业生产设备 采购需求概况 ： *寸和*寸晶圆投影式曝光；成像模式：全自动、投影式 、缩小成像；分辨率≤***nm。以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 高精度快速图形化系统 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 高精度快速图形化系统 预算金额： ****.******万元(人民币) 采购品目： A********电子工业生产设备 采购需求概况 ： *寸及以下尺寸晶圆纳米尺寸图形曝光；加速电压≥**kV；分辨率≤**nm；束流达到nA量级。以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 TSV硅孔刻蚀系统 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： TSV硅孔刻蚀系统 预算金额： ****.******万元(人民币) 采购品目： A********电子工业生产设备 采购需求概况 ： TSV硅孔刻蚀系统主要功能是实现硅晶圆深孔刻蚀，尤其是面向先进封装的*D-TSV技术。这是一种穿通硅晶圆或芯片的垂直互连结构，可以完成连通上下层晶圆或芯片的功能，是晶圆级多层堆叠技术中有效提高系统整合度与效能的关键工艺，也是难度较大的一个环节。此外，设备还需配备硅孔侧壁清洁功能，可以更好解决后续TSV金属生长问题。 采购标的数量：一台。 以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 多功能原子层刻蚀系统 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 多功能原子层刻蚀系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电子工业生产设备 采购需求概况 ： 多功能原子层刻蚀系统主要用于*inch样品表面GaN等材料的低损伤及原子层精度刻蚀工艺，设备需同时配套刻蚀金属电极材料，专用于GaN器件研发，可以很好解决交叉污染问题，器件性能更加优异。 采购标的数量：*台。 以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 高纯金属溅镀仪 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 高纯金属溅镀仪 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电子工业生产设备 采购需求概况 ： 拟进行采购的高纯金属溅镀仪，主要用于各种金属及其合金薄膜材料的原子级镀膜工艺。设备应满足本底真空优于*E-*Torr的高真空配置，具有样品加热温度***℃的工艺能力，可实现*mTorr低压力下工作运行，工作压力控制精度不高于读数的±*.*%。以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 铂金颗粒及靶材加工 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 铂金颗粒及靶材加工 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********-贵金属 采购需求概况 ： 拟进行铂金颗粒和靶材加工，满足CS-***z、M***、DE***、lab**、Esz-R、ei-*z等设备高纯铂金薄膜的制备工艺。要求：纯度 ≥**.**%。材料需按照国家标准GB∕T *****-****相关要求进行检测，且检测报告需是通过CNAS相关认证的权威机构出具。以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 氢气 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 氢气 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********-其他基础化学品及相关产品 采购需求概况 ： 氢气，工艺所需气体，如外延生长必须特气之一。纯度*N及以上，纯度要求指标参照GB/T ****.*-****，以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 氢气 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 氢气 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********-其他基础化学品及相关产品 采购需求概况 ： 氢气，工艺所需气体，如外延生长必须特气之一。纯度*N及以上，纯度要求指标参照GB/T ****.*-****，以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 B*楼实验室改造项目 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： B*楼实验室改造项目 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： B********-其他专业施工 采购需求概况 ： B*楼房间根据实验需求进行改造，增加环境温湿度洁净度等控制设施等的安装施工，以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 B楼*-*楼PCW系统扩容工程 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： B楼*-*楼PCW系统扩容工程 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： B********-其他专业施工 采购需求概况 ： 由于新设备的PCW需求增长要求提高，对B*-*楼PCW系统进行扩容和提升改造施工，以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 B楼顶排风环保设施改造合规化 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： B楼顶排风环保设施改造合规化 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： B********-其他专业施工 采购需求概况 ： 对B楼整体实验设施的废气排放进行合规化改造施工，以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 TSV平坦化抛光机 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： TSV平坦化抛光机 预算金额： ****.******万元(人民币) 采购品目： A********电子工业生产设备 采购需求概况 ： 设备名称：TSV平坦化抛光机 *、主要功能：TSV平坦化抛光机设备采用抛头多压力分区设计，可独立调整控制实现，配置针对Cu和氧化硅等介质薄膜的高分辨终点检测系统，可以实现纳米精度控制。具备*inch向下兼容*inch晶圆衬底工艺能力。 *、采购数量：*台。 *、质量：严格按照招标文件及相关国家标准的要求，投标物资的技术设计、生产过程、出厂检验到售后服务进行全过程的质量管理，保证实际供应物资的质量与招标文件中的招标采购物资标准与技术要求完全一致，产品质量稳定可靠。 *、服务：投标人承诺提至少*年免费质保、终身维修的服务。负责提供技术服务和技术支持。免费质保期是指从用户验收合格之日起的至少一年以上时间内为免费质保期。在免费质保期内，任何由于设备质量原因或者正常使用引起的故障及损坏，除人为因素损坏外，由投标人提供免费维修。终生维修是指投标人对所售设备提供终身维修服务，接到用户维修反馈后，厂家需要**h之内进行答复。投标人对用户的技术人员和维修人员进行相关技术培训、设备维护维修保养培训及设备应急处理培训，并出具操作说明书和维护维修保养手册。 *、安全：设备在安装、使用过程中应符合职业健康安全和环境保护等要求。设备应在技术人员方便操作的位置设有紧急停止开关，紧急停止开关上应加防护罩，防止误操作。以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。