中国科学院上海技术物理研究所2024年5至12月政府采购意向
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热壁碲化镉生长设备 项目所在采购意向： ******************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************** 采购项目名称： 热壁碲化镉生长设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他仪器仪表 采购需求概况 ： 生长室极限真空度优于 *×**-* Pa；样品台温度控制精度±*℃，实现碲化镉原子级增材制造；进样室预留设备前端模块(EFEM)接口，样品可以在设备前端模块、进样室、过渡室和生长室之间自动传输。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 分区域钝化研究平台 项目所在采购意向： ******************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************** 采购项目名称： 分区域钝化研究平台 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他仪器仪表 采购需求概况 ： 平台应至少包括以下腔室：氧化硅磁控溅射腔室、硫化锌磁控溅射腔室、离子束刻蚀腔室和样品交换腔室。其中，样品交换腔室位于平台中央位置，其余腔室呈环形排布，利用中央真空机械手在各腔室之间进行样品转移；平台需设计过渡接口，能够与设备前端模块（EFEM）进行互联以进行样品转移和交接。样品尺寸基于直径*英寸。样品的全部工艺均应保证样片温度不高于**摄氏度。所有腔室样品台的制冷与泵、靶台的制冷分开；样片传输平稳，可靠，不得有掉片、卡片、倾覆、磕碰等情况。工艺过程及样品传输过程自动运行，无需人工干预。平台各工艺腔室配置独立的PLC、工控机、控制软件。各工艺腔室既可作为芯片自动化制造系统的一部分进行自动运行，也可以作为单独工艺点独立使用。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 原子层沉积设备 项目所在采购意向： ******************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************** 采购项目名称： 原子层沉积设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他仪器仪表 采购需求概况 ： 衬底尺寸和类型:*英寸/单片,*D 复杂表面衬底；工艺温度:**-***℃可调；预真空室预留设备前端模块(EFEM)接口,样品在生长室、预真空室和设备前端模块之间自动传输；*.前驱体:配置*路源，其中*路可加热 。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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