广东省科学院半导体研究所2024年06月至2024年08月政府采购意向
正文内容
聚焦离子束双束电子显微采购项目 项目所在采购意向： ****************年**月至****年**月政府采购意向 采购单位： ************ 采购项目名称： 聚焦离子束双束电子显微采购项目 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： 采购需求概况 ： 标的名称:聚焦离子束双束电子显微镜 标的数量:* 主要功能或目标:聚焦离子束双束电镜系统用于样品的高精度微纳加工、原位失效分析、截面制备、高分辨形貌观察、离子束沉积与刻蚀、高质量定点TEM样品制备、并可与能谱结合进行化学元素定性定量分析,与电子背散射衍射仪结合可进行物相分析。 需满足的要求:*.离子源：Ga离子源；*.离子束分辨率：≤***********；*.气体注入系统：Pt、W、C；*.离子束流：*？pA–***？nA；*.电子束分辨率≤*.***********；*.电子束流：*pA？-？**nA，*.探测器：透镜内探测器；样品室二次电子探测器；背散射探测器；*.能谱仪：有效面积不低于***mm*？*.电子背散射衍射仪：解析速度不低于****pps 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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