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松山湖材料实验室2024年07月至2024年08月政府采购意向

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信息地址:https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/freecms/site/gd/ggxx/info/****/*a*e*c*****df*cf********d****bd*.htmlnoticeType=** 为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下: 序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注 * **湖材料实验室临界点干燥仪设备采购项目 标的名称:临界点干燥仪 标的数量:* 主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中*英寸及以下晶片MEMS等器件的临界点干燥工艺。 需满足的要求:"需满足的工艺技术指标: *、样品尺寸:*-*寸; *、干燥器件:MEMS器件、生物传感器及各类微机械传感器等; *、干燥介质:液态二氧化碳(LCO*); *、单次*寸晶圆处理能力:≥*片; *、内置过滤装置,过滤流进样品室的液态二氧化碳:≤*.*um; *、压力范围:*-****psi; *、温度范围:-**至**℃。" 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 *,***,***.** ****年**月 * **湖材料实验室铟蒸发台设备采购项目 标的名称:铟蒸发台 标的数量:* 主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中*英寸及以下晶片In柱蒸发制备工艺 需满足的要求:"主要技术指标和要求: *)样品尺寸:*寸向下兼容,可进行碎片工艺; *)蒸发入射角<*°; *)工件台可控低温不高于-**℃,控温精度优于±*℃; *)片内均匀性:≤±*%(*寸); *)工艺重复性:≤±*%;" 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 *,***,***.** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 **湖材料实验室 ****年**月**日

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