清华大学2024年5至7月政府采购意向

正文内容

氧化炉 项目所在采购意向： ********年*至*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 氧化炉 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A-货物_A********-设备_A********-仪器仪表_A********-试验仪器及装置_A********-其他试验仪器及装置 采购需求概况 ： 采购需求概况应当包括： *.采购标的名称：氧化炉 *.采购标的需实现的主要功能或者目标：*英寸向下兼容，氧化扩散设备，薄膜厚度：****A；薄膜均匀性：≤±*% *.采购标的数量：* *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质保期至少*年。售后服务响应不超过**小时（不区分工作日和节假日） 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 介质干法刻蚀系统 项目所在采购意向： ********年*至*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 介质干法刻蚀系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A-货物_A********-设备_A********-仪器仪表_A********-试验仪器及装置_A********-其他试验仪器及装置 采购需求概况 ： 采购需求概况应当包括： *.采购标的名称：介质干法刻蚀系统 *.采购标的需实现的主要功能或者目标：*英寸向下兼容，SiO*刻蚀速率：***-***nm/min；刻蚀均匀性：≤*% *.采购标的数量：* *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质保期至少*年。售后服务响应不超过**小时（不区分工作日和节假日） 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 金属干法刻蚀系统 项目所在采购意向： ********年*至*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 金属干法刻蚀系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A-货物_A********-设备_A********-仪器仪表_A********-试验仪器及装置_A********-其他试验仪器及装置 采购需求概况 ： 采购需求概况应当包括： *.采购标的名称：金属干法刻蚀系统 *.采购标的需实现的主要功能或者目标：*英寸向下兼容，金属刻蚀速率：≥***nm/min；刻蚀均匀性：≤*% *.采购标的数量：* *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质保期至少*年。售后服务响应不超过**小时（不区分工作日和节假日） 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 硅刻蚀系统 项目所在采购意向： ********年*至*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 硅刻蚀系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A-货物_A********-设备_A********-仪器仪表_A********-试验仪器及装置_A********-其他试验仪器及装置 采购需求概况 ： 采购需求概况应当包括： *.采购标的名称：硅刻蚀系统 *.采购标的需实现的主要功能或者目标：*英寸向下兼容，刻蚀速率：≥*um/min；刻蚀均匀性：≤*% *.采购标的数量：* *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质保期至少*年。售后服务响应不超过**小时（不区分工作日和节假日） 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 金属氧化物化学气相沉积 项目所在采购意向： ********年*至*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 金属氧化物化学气相沉积 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A-货物_A********-设备_A********-仪器仪表_A********-试验仪器及装置_A********-其他试验仪器及装置 采购需求概况 ： 采购需求概况应当包括： *.采购标的名称：金属氧化物化学气相沉积 *.采购标的需实现的主要功能或者目标：化合物半导体生长工艺，沉积速率：**nm/min；沉积均匀性：≤*% *.采购标的数量：* *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质保期至少*年。售后服务响应不超过**小时（不区分工作日和节假日） 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 单片清洗机 项目所在采购意向： ********年*至*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 单片清洗机 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A-货物_A********-设备_A********-仪器仪表_A********-试验仪器及装置_A********-其他试验仪器及装置 采购需求概况 ： 采购需求概况应当包括： *.采购标的名称：单片清洗机 *.采购标的需实现的主要功能或者目标：高温工艺前清洗，CMP之后清洗 *.采购标的数量：* *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质保期至少*年。售后服务响应不超过**小时（不区分工作日和节假日） 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 槽式清洗系统 项目所在采购意向： ********年*至*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 槽式清洗系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A-货物_A********-设备_A********-仪器仪表_A********-试验仪器及装置_A********-其他试验仪器及装置 采购需求概况 ： 采购需求概况应当包括： *.采购标的名称：槽式清洗系统 *.采购标的需实现的主要功能或者目标：RCA标准清洗，沉积前清洗，深层Trench/Via清洗 *.采购标的数量：* *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质保期至少*年。售后服务响应不超过**小时（不区分工作日和节假日） 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 多腔室溅射系统 项目所在采购意向： ********年*至*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 多腔室溅射系统 预算金额： ****.******万元(人民币) 采购品目： A-货物_A********-设备_A********-仪器仪表_A********-试验仪器及装置_A********-其他试验仪器及装置 采购需求概况 ： 采购需求概况应当包括： *.采购标的名称：多腔室溅射系统 *.采购标的需实现的主要功能或者目标：多种金属薄膜的物理气相沉积 *.采购标的数量：* *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质保期至少*年。售后服务响应不超过**小时（不区分工作日和节假日） 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 原子层沉积 项目所在采购意向： ********年*至*月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 原子层沉积 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A-货物_A********-设备_A********-仪器仪表_A********-试验仪器及装置_A********-其他试验仪器及装置 采购需求概况 ： 采购需求概况应当包括： *.采购标的名称：原子层沉积 *.采购标的需实现的主要功能或者目标：*英寸向下兼容，氧化物、氮化物单质等材料的薄膜沉积 *.采购标的数量：* *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质保期至少*年。售后服务响应不超过**小时（不区分工作日和节假日） 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。