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南京理工大学2024年8月政府采购意向

正文内容

微电子学院亚微米精度键合机 项目所在采购意向： **********年*月政府采购意向 采购单位： ****** 采购项目名称： 微电子学院亚微米精度键合机 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： 电子工业专用生产设备 采购需求概况 ： 亚微米精度键合机，*套。贴片精度*.*um, 适用于尺寸 *.**mmx*.**mm到**mmx**mm的芯片。主要参数包括，*.设备主机系统：*.* 固定分光镜光学对位系统 *.*压力控制模块*.*N-***N *.*工作台 工作区域： ***mmx**mm *.*贴片臂 *.*智能工艺管理软件（IPM）*.精度校准工具包 *.Y轴相机视野拓展 *.间隙控制模块。*. 芯片吸头 *.基板加热模块（**x**），带气体冷却和真空吸附功能 *.工艺气体保护 适用于使用惰性气体保护的芯片键合工艺。*.增强型**x**加热平台，提升可承受压力到***N。*.侧面相机 **.蘸胶托盘 **.正装贴片绘图软件 **.设备具有配套：超声波清洗设备 臭氧清洗设备 等离子清洗设备 热板 氮气烘箱 HDMS烘箱，数量各一台。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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