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华南师范大学2024年08月至2024年09月政府采购意向

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信息地址:https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/freecms/site/gd/ggxx/info/****/*a*efa*****ae********bd**d*d***e.htmlnoticeType=** 为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注 * 华南师范大学物理学院采购电子束蒸发系统项目 标的名称：电子束蒸发系统 标的数量：* 主要功能或目标：满足国家级物理实验教学示范中心、教育部基础学科拔尖学生培养计划*.*的教学实验平台建设需求。该设备在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜，是半导体微纳加工设备之一。 需满足的要求：*.优质SUS***不锈钢材料的主腔体和过渡腔体。 *.采用进口涡旋分子泵和涡旋干泵本底真空优于*x**-*Pa。 *.T-S基距：＞***mm。 *.电E型电子枪，工作真空**-*mbar； 配*穴直冷式坩埚。 *.高精度膜厚控制仪，厚度和速率分辨率/测量：±*.*** Å，速率显示：*.** Å/秒。 *.设备可升级高通量掩模版，通过掩膜板的运动在基片上实现连续二元和**组分薄膜沉积。 按规定落实 *,***,***.** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 华南师范大学 ****年**月**日

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