华南师范大学2024年08月至2024年10月政府采购意向
正文内容
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注 * 华南师范大学华南先进光电子研究院采购SiNx/SiOx沉积系统（PECVD）项目 标的名称：SiNx/SiOx沉积系统（PECVD） 标的数量：* 主要功能或目标：兼容纳米级薄膜的均匀沉积或纳米结构表面修饰和洁净真空环境下进行氮化硅和氧化硅的薄膜生长，并且可以膜厚具有很好的均一性和可控性。 需满足的要求：*、样片≥** inch，支持SiH*（SiO*、SiNx、SiON、a-Si）和TEOS（SiO*）沉积； *、高频（≥**MHz）电源的**度等离子体工艺； *、RT～***℃ ±*℃沉积加热； *、片内和片间均匀性≤±*%； *、粗糙度≤*nm； *、基底温度 RT-***℃±*℃ ； *、*路常温源，*路加热源，RT～***℃±*℃ ; *、每路前驱体配置专用高速高温 ALD 阀。 按规定落实 *,***,***.** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 华南师范大学 ****年**月**日
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