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华南师范大学2024年08月至2024年11月政府采购意向

正文内容

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注 * **师范大学采购超高真空脉冲激光分子束外延集成系统项目 标的名称：超高真空脉冲激光分子束外延集成系统 标的数量：* 主要功能或目标：超高真空激光分子束外延集成系统（L-MBE）是一种新型的薄膜制备技术，通过控制薄膜制备过程中的工艺条件，能够制备高性能半导体材料和开发新材料，用于生长各种纳米尺度的单层膜或多层膜，制备单晶或多晶化合物、半导体等薄膜或超薄膜样品。 需满足的要求：至少两个真空腔体，进样室极限真空≤*×**-*Pa，生长室充分烘烤后背底真空优于*E-**mbar，衬底尺寸为*-*英寸，样品台加热系统的可调范围RT～****℃，控温精度±*.*℃；样品台可连续回转，配单独挡板；生长腔体可进行***℃烘烤；*个蒸发束源炉，温控精度±*.*°C，单独挡板；气体等离子体源；配备薄膜原位生长监测；独立的系统控制软件和工艺控制软件，含配套PC及硬件；有薄膜厚度监控。 按规定落实 *,***,***.** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 华南师范大学 ****年**月**日

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