芜湖市产业创新中心2024年8月政府采购意向
正文内容
为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将***产业创新中心****年*月采购意向公开如下: 序号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购时间(填写到月) 备注 * 西电**研究院碳化硅外延炉采购 **电子科技大学**研究院采购碳化硅外延炉*台。加工晶圆尺寸为:*、*英寸兼容;最大工艺温度为:****℃;高速生长速率为:≥**μm/h,标准生长速率为:≥**μm/h;背景浓度<*E** cm-*;厚度** um外延层(*&*英寸)指标为 :单片外延层厚度不均匀性为:≤* %(б/mean),片内掺杂浓度不均匀性为:≤* %(б/mean);可控掺杂浓度范围为:*E**~*E** cm-*。用于碳化硅外延材料生长,实现自主外延晶圆材料供给。 *** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 ***产业创新中心 ****年**月**日
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