北京大学2024年10月政府采购意向
正文内容
磁控溅射台的除气反应腔室和氧化铟锡反应腔室 项目所在采购意向： ********年**月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 磁控溅射台的除气反应腔室和氧化铟锡反应腔室 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电子工业生产设备 采购需求概况 ： 两个反应腔室主要用于建立校级微纳工艺平台晶圆表面金属化能力，提供除气、ITO等薄膜制备工艺，支撑世界一流的器件芯片研制和工艺研发。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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