复旦大学2024年10月政府采购意向
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半导体介质垂直溅射系统 项目所在采购意向： ********年**月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 半导体介质垂直溅射系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A******** 电子工业生产设备 采购需求概况 ： 本底真空优于 *x**-*mbar；配有旋转加热样品台，样品可以通过辐射方式加热，最高加热温度 ***℃，通过PID 温控仪实现温度精确控制；Ar，设备入口压力要求：*-* kg/cm*，纯度>*N*；N*，设备入口压力要求：*-* kg/cm*，纯度>*N*；O*，设备入口压力要求：*-* kg/cm*，纯度>*N*；设备气路入口接头：外径 *.** mm。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 低温等离子体介质沉积系统 项目所在采购意向： ********年**月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： 低温等离子体介质沉积系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A******** 电子工业生产设备 采购需求概况 ： 生长速度≥* nm/min，生长温度≤***℃，生长薄膜应力≤*** Mpa，薄膜均匀度（薄膜差异±*%），标配*路：SiH*、NH*、N*O、N*、O*、CF*、Ar、He流量可调，真空计（***mTorr），分子泵抽速≥****L/s，抽真空 ** 分钟以内，压力达到< *E-* mbar，本底真空：< *E-* mbar。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 “感存算”一体焦平面测试系统 项目所在采购意向： ********年**月政府采购意向 采购单位： **** 采购项目名称： “感存算”一体焦平面测试系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A******** 半导体器件参数测量仪 采购需求概况 ： 时序波形发生器可配置多达** 个通道，每通道可达*M内存，时钟速率可高达***MHZ。 取样：时钟驱动卡和直流偏置卡提供电压检测和电流检测输出取样，供外置数字电压表采集数据数据采集；数据采集系统可配置多达** 个专用AD 通道，内存可达** GB，有三个速度分辨率选项，数字采集部分为** 位LVDS数据，每通道速率高达***MHZ。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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