南京大学2024年11月政府采购意向
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多腔薄膜沉积联合系统 项目所在采购意向: ********年**月政府采购意向 采购单位: **** 采购项目名称: 多腔薄膜沉积联合系统 预算金额: ***.******万元(人民币) 采购品目: A******** 真空应用设备 采购需求概况 : ****拟采购多腔薄膜沉积联合系统一套,由一套超高真空磁控溅射系统、一套电子束蒸发镀膜系统和一套进样系统组成。主要参数需求如下:一、超高真空磁控溅射:*. 样品尺寸:*英寸;*. 溅射腔室极限真空:**-*Pa量级;*. 溅射腔室正面设有铰链DN***手动快开门,双密封结构;*. 样品台加热温度:***℃,靶基距调节范围***mm,样品台旋转*-**rpm;*. 靶枪及电源:*个*英寸超高真空靶枪,*个直流电源和*个射频电源;*. 工艺气体:*路气体进气,氩气,氧气,氮气;配有工艺稳压模块;*. 膜厚均匀性优于±*%。二、电子束蒸发镀膜系统:*. 样品尺寸:*英寸;*. 电子束蒸发沉积系统极限真空:**-*Pa量级;*. 水冷样品台:*英寸样品,样品台旋转*-**rpm连续可调;偏摆角度可调*-**°(不破真空且样品台旋转连续旋转时);生长距离调节范围**mm(生长距离***mm);*. 电子束蒸发源:电子束蒸发源 *x*cc,电源功率*kW;*. 膜厚均匀性优于±*%。三、进样系统:*. 进样系统与超高真空磁控溅射系统及电子束蒸发镀膜系统对接;*. 进样系统极限真空:**-*Pa量级;*. 可以实现*个*英寸样品的储存及快速进样。仪器质保期需求:**个月。 预计采购时间: ****-** 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 ******、**校区通勤车服务 项目所在采购意向: ********年**月政府采购意向 采购单位: **** 采购项目名称: ******、**校区通勤车服务 预算金额: ***.******万元(人民币) 采购品目: C******** 道路客运服务 采购需求概况 : ****师生往返**校区和**校区的通勤班车服务(寒暑假、节假日除外) 预计采购时间: ****-** 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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