华中科技大学2024年11至12月政府采购意向
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MEMS月震计芯片鉴定件及正样件加工与测试 项目所在采购意向： **********年**至**月政府采购意向 采购单位： ****** 采购项目名称： MEMS月震计芯片鉴定件及正样件加工与测试 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： C********其他服务 采购需求概况 ： MEMS月震计芯片鉴定件及正样件加工与测试，MEMS月震计芯片鉴定件及正样件各**个晶圆。 采购内容及指标： （*）MEMS光刻显影工艺加工及检测：光刻精度*um （*）MEMS金属镀膜工艺加工及检测：镀膜厚度***nm±**nm； （*）MEMS介质膜工艺技工及检测：镀膜厚度****nm±***nm （*）MEMS电镀工艺加工及检测：电镀均匀性优于±*um （*）MEMS深硅刻蚀工艺加工及检测：刻蚀深度大于***um，陡直度优于**±*.*度 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 电子束蒸发镀膜机 项目所在采购意向： **********年**至**月政府采购意向 采购单位： ****** 采购项目名称： 电子束蒸发镀膜机 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********真空应用设备 采购需求概况 ： 电子束蒸发镀膜机，用于半导体工艺中各种金属膜，反射膜的制备，要求系统全自动，稳定可靠，*英寸圆片上成膜不均匀性≤±*%，重复性高，炉间不均匀性≤±*%，工作真空度要求*E-*Torr，镀膜速率*~**埃/S可调，腔体可加热，可公转自转自由切换。蒸发***nm金膜片上温度不超过**度。载片量：*英寸圆片不少于**片；*英寸圆片不少于*片。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 ******附属中学（同济校区）教学楼修缮工程 项目所在采购意向： **********年**至**月政府采购意向 采购单位： ****** 采购项目名称： ******附属中学（同济校区）教学楼修缮工程 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： B********房屋修缮 采购需求概况 ： ******附属中学（同济校区）教学楼部分外墙面开裂、脱落，教室复合地板泡水损坏，瓷砖空鼓，为了给师生提供一个安全、舒适的学习、生活环境，亟需对教学楼进行整体修缮。拟对外墙整体防水保温，室内地面、天棚、墙面、门窗等进行改造。具体以本项目工程量清单及初步设计图为准。计划工期：**天；质保期：整体*年，其中屋面防水质保期*年。质量标准：国家验收规范合格标准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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