南京理工大学2024年12月政府采购意向
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固体微结构紫外光刻加工系统 项目所在采购意向： **********年**月政府采购意向 采购单位： ****** 采购项目名称： 固体微结构紫外光刻加工系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A******** 电气物理设备 采购需求概况 ： 购标名称：固体微结构紫外光刻加工系统。 采购标的数量：一套（台）。 设备指标：（*）无掩膜激光直写光刻；（*）最大行程：X=***mm，Y=***mm；（*）最小分辨率***nm，支持***nm、***nm的光学分辨率的自动切换；（*）配置高精密的温度控制器，控制温度±*.*℃；（*）样品尺寸：最大 ***mm****mm，向下兼容；（*）曝光尺寸：最大***mm****mm；（*）最大扫描速度：***mm/s；（*）光刻速度：大于等于*.*mm*/min；（*）最大灰度光刻阶数：****阶；（**）支持灰度光刻ECM面型补偿功能（**）样品固定方式：真空吸附，不同尺寸的卡盘进行样品定位；（**）自动聚焦：***nm红外实时聚焦；（**）支持GDSII，DXF，BMP，STL，TIFF等多种数据格式；（**）定位精度分辨率：*nm，重复定位精度：**nmRMS；（**）设备需集成度高，占地面积小于*.*m**.*m**.*m；（**）运行稳定，可长时间光刻；（**）设备的架构开源度高，可有利于更多的客制化开发和使用。 上述系统均应能提供全面且免费的安装和培训，质保期不少于*年，完整的售后服务及原厂技术支援响应。质保期外及时响应用户维护需要。 预计采购时间： ****-** 备注： 强基拓新创新平台 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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