南京理工大学2024年12月政府采购意向
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QLED一体化加工测试系统 项目所在采购意向： **********年**月政府采购意向 采购单位： ****** 采购项目名称： QLED一体化加工测试系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A******** 其他真空获得及应用设备 采购需求概况 ： 采购QLED一体化加工测试系统*套，主要组成及部分指标如下：*）加工单元：可安装至少*个尺寸 **mm***mm 的基片托盘，可真空状态下更换*次mask；基片盘可旋转，旋转速度 *-** 转/分可调.(每个 mask 图形配备独立挡板)；坩埚容量 *cc 以上金属舟源*组以上，坩埚容量 *cc 以上中温束源*组(含水冷)；至少*个进口蒸发电源,用于蒸发金属和有机，蒸发电源可以通过软件控制，具有二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪 PID(闭环控制)，自动调节蒸发速率；采用石英晶振膜厚仪监测精度 *.***A；进口石英晶振探头*个， *MHZ，采用快速卡扣式结构、UBQD 密封结构。腔体.SUS*** ，内部尺寸约为***********mm;整体漏率优于*x**-** Pa.m*/S，保压 ** 小时，压强小于 **Pa；极限真空优于:****-*Pa；主泵抽速不低于 **** L/S,干泵抽速不低于 ** 立方米每小时; 可完成自动化蒸镀功能(可自动化完成蒸镀速率调节，膜厚控制，开关挡板，下一膜层切换等)。*）惰性气氛单元：双工位手套箱*台套（*.*+*.*米三工位（连接蒸镀机），*.*米双工位，*.*米双工位）通过过渡舱分隔互联，同时连接加工制备及测试模块；**℃ 恒温，一个标准大气压，**.***%的惰性气源，水氧指标小于*.**ppm；五氧化二磷传感器水分析仪，二氧化锆传感器氧分析仪，两套加大有机溶剂吸附器，一套超净过滤除尘系统。*）测试单元：可测量相对光谱功率分布，色品坐标，主波长，峰值波长，光谱纯度，色温，显色指数，半宽度，光通量（配积分球），辐射功率，红色比，色容差等参数，满足国际照明委员会CIE对光和颜色测量要求，可快速测量亮度/亮度均匀性、色度/色度均匀性、色品坐标、相关色温、光谱等；波长范围不少于***-***nm；杂散光不大于*E-**（可见光范围）；涂层反射率：ρ（λ）=**%-**%（***nm~***nm），ρ（λ）=**%-**%（***nm~****nm）等 预计采购时间： ****-** 备注： 强基拓新平台 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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